판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293758945

LAM TCP 9400 SE는 저용량 배치 처리 (batch processing) 시장에서 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 모든 기능을 갖춘 etcher/asher 장비입니다. 최적화된 액체 미디어 전달 시스템, 열 방전 제어 장치, 통합 진공 암 (vacuum arm) 및 강력한 제어 머신을 갖추고 있습니다. 액체 미디어 전달 도구 (liquid media delivery tool) 는 향상된 안개 패턴을 사용하여 제품 균일성을 향상시키고 화학 및 웨이퍼 미디어의 소비를 크게 줄입니다. 이 안개 패턴은 또한 에칭 중 얇은 균일 한 레이어의 균일 한 적용 범위 및 높이 제어를 제공합니다. 안개 패턴 (mist pattern) 과 높이 제어 (height control) 에셋이 함께 작동하여 효율적이고 비용 효율적인 애싱 프로세스를 제공합니다. 열 방전 제어 (thermal discharge control) 모델은 다양한 온도 및 공정 주기 동안 일관되고 안정적인 결과를 보장합니다. 이 제어 장비는 액체 미디어 전달 시스템 (Liquid Media Delivery System) 과 연동하여 빠른 프로세스 주기와 효율적인 처리량을 제공합니다. 내장형 진공실 (vacuum arm) 은 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 공정을 수행할 수 있는 안전한 환경을 제공하여 제품 안전성을 향상시킵니다. "암 '은 최적 으로 조종 된 환경 을 제공 하도록 설계 되어 있어서, 위험 한 입자 나 물질 이 작업 구역 으로 빠져나가지 않도록 한다. 이것은 유출 방지 (Leak-Proof) 환경을 보장하기 위해 특별히 설계된 동적 인감을 사용하여 수행됩니다. 강력한 제어 장치는 높은 수준의 자동화 및 제어 기능을 제공합니다. 이 시스템은 위치 및 프로세스 제어를 자동화하고, 실시간 프로세스 진단 및 모니터링을 제공합니다. 자동화 및 제어 (automation and control) 툴을 통해 운영 환경의 효율성과 비용 효율성을 높이고 운영자의 개입을 줄일 수 있습니다. 전반적으로, LAM TCP 9400SE는 강력하고 효율적인 etcher/asher 자산으로, 저용량 배치 처리 시장에서 광범위한 어플리케이션의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 최적화된 액체 매체 전달 모델, 열 방전 제어 장비, 내장형 진공 암 (vacuum arm), 견고한 제어 시스템 (Robust Control System) 이 최대한의 출력과 생산성을 위한 최적화된 솔루션을 제공합니다.