판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #196518

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 기판 에칭 응용 프로그램을위한 소형, 고성능 건식 에칭 솔루션입니다. 이 장비는 최대 4mm 두께의 기판을 처리 할 수 있으며, 정교한 소프트웨어 제어 시스템 (Software Control System) 은 공정 매개변수 (Process Parameter) 와 반복성 (Repeatability) 을 매우 정확하게 제어합니다. 빠른 주기 시간과 정교한 프로세스 제어를 결합한 ONTRAK TCP 9400 SE는 기판 에칭 및 처리에 이상적인 선택입니다. 이 장치에는 2 개의 개별 저수지에서 산소와 염소를 모두 전달 할 수있는 가스 전달 머신 (gas delivery machine) 이 장착되어 있습니다. "가스 '전달 도구 는" 에칭' 과정 중 에 기판 에 일관성 있는 "가스 '의 흐름 을 제공 하도록 설계 되었다. 또한, 이 자산은 더 높은 성능을 제공하기 위해 쉽게 업그레이드 할 수 있도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH TCP 9400 SE는 독립적으로 조절 가능한 온도 조절 프로세스 척 (chuck) 2 개를 갖추고 있어 처리량 증가를 위해 서로 다른 기판을 병렬로 에칭할 수 있습니다. 핫플레이트 (Hot Plate) 는 기판의 균일 한 가열에도 사용할 수 있으며, 전체 기능을 갖춘 원격 액세스 키패드 (Remote Access Keypad) 를 사용하여 모델을 쉽게 작동시킬 수 있습니다. 또한, 이 장비에는 프로세스 사이클 시간 동안 정확한 온도 제어를 제공하기 위해 통합 냉각 패키지가 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 에칭 프로브 (etching probe), 티저 (tweezer) 및 정밀 프로세스를위한 랩핑 도구를 포함한 다양한 통합 액세서리 및 도구가 제공됩니다. 단위의 데이터 출력은 시각적 (visual) 형식과 프로그래밍 가능한 (programmable) 형식으로 제공되므로 프로세스 변수를 쉽게 분석하고 제어할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 고속 닫힌 루프 제어로 인해 빠른 주기 시간 기능을 제공합니다. TCP 9400 SE는 다양한 기판 에칭 응용 프로그램을위한 신뢰할 수 있고 다양한 에치 솔루션입니다. 즉, 고성능, 정밀 제어 기능을 통해 사용자의 효율성과 처리량을 높일 수 있습니다. 또한, 고급 소프트웨어 및 통합 액세서리를 사용하면 에칭 (etching) 프로세스를 쉽게 액세스하고 제어할 수 있습니다.