판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9364646

LAM RESEARCH TCP 9400 SE II etcher/asher는 반도체 제조에서 빠르고 정확한 플라즈마 기반 에칭, 애싱 및 관련 프로세스를 위해 설계된 다재다능한 습식 처리 도구입니다. 고급 선형 자동 동작 시스템을 활용하여 처리량과 정확도를 극대화합니다. 9400 SE II는 플라즈마 기반 에칭 및 애싱을 위한 고성능, 저렴한 솔루션을 제공합니다. 9400 SE II는 반도체 장치의 프런트엔드 및 백엔드 제조에 적합합니다. 8 인치 다중 구역 기판 지원 단계, 4 위치 정전기 척 (electrostatic chuck) 및 표면 마운트 스퍼터 필름 증착 헤드 (surface mount sputter film deposition head) 를 갖추고 전체 프로세스 표면에서 일관된 플라즈마 반응 및 균일 한 에칭을 제공합니다. 9400 SE II는 200mm 웨이퍼 크기 내에서 서브 미크론 정확도로 최대 50 um의 금속을 가져올 수 있습니다. 이 단계는 가스/흐름 제어, 다중 영역 기판 온도 제어, 패턴 인식/인식 알고리즘, 가상 웨이퍼 매핑 등 다양한 프로세스 레시피에 대해 사전 구성됩니다. 또한 9400 SE II는보다 효율적이고 정확한 에칭 프로세스를 위해 고급 디지털 자동 초점 및 자동 스캔 제어 소프트웨어를 제공합니다. 9400 SE II는 고효율 가스 전달 시스템을 사용하여 공정 표면에 시원하고 건조한 가스를 분배하여 에칭 정확도, 플레이트 균일성, 장치 수명을 최대화합니다. 최소 스퍼터 손실로 정확하고 빠른 에칭 프로세스를 제공합니다. 또한 낮은 방출 (LE) 플라즈마를 전달하여 최적의 에칭 성능을 보장하고 잔류 물질 오염을 최소화 할 수 있습니다. LAM RESEARCH 9400 SE II는 안정적이고 견고한 에처/애셔로, 에칭 및 애싱 어플리케이션에 안전하고 안정적인 환경을 제공합니다. 모듈식 설계/원격 모니터링 기능을 통해 모든 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다. 높은 처리 처리량, 저비용 운영 및 탁월한 에칭/애싱 성능을 갖춘 9400 SE II는 많은 최첨단 반도체 제조업체에게 에치/애셔 (etch/asher) 입니다.