판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9212901

LAM RESEARCH TCP 9400 SE II는 광범위한 실리콘 및 화합물 반도체 응용 분야를 위해 특별히 설계된 벤치 탑 플라즈마 에처입니다. 이 장비는 마이크로 센서, MEMS 및 optoelectronic 구성 요소와 같은 마이크로 전자 장치를 제조하기위한 다용도, 고성능 에칭 솔루션을 제공합니다. 대형 17 인치 컬러 LCD 터치스크린 인터페이스를 통해 사용자는 스와프 (swipe) 와 탭 (tap) 을 사용하여 모든 기능을 쉽게 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 매우 넓은 에치 창 (최대 12x12 인치) 을 가지며, 여러 웨이퍼 및 다이 레벨을 단일 런으로 처리할 수 있습니다. TCP 9400 SE II는 전원 공급 장치 및 핫플레이트를 내장하여 입자 생성을 줄이면서 탁월한 에치 균일성을 제공합니다. 또한 CF4, SF6, HCl, Cl2 및 HBR을 포함한 광범위한 에치 화학에 대한 에치 시간 및 온도 비율을 정확하게 제어 할 수있는 온보드 비활성 클러스터 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 또한, 이 장치에는 두 개의 독립적인 로드 잠금 장치 (load lock) 가 있어 높은 처리량 시스템을 구현할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 단일 단계 또는 다중 단계 etching 프로세스를 지원하므로 보다 정확한 디바이스 구성 프로세스를 사용할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9400 SE II의 안전 기능은 노출 가드, 비활성 가스 안전 밸브, 배기 스크러버 등 안전한 운영 환경을 보장하도록 설계되었습니다. 이 도구에는 안전 유지에 도움을주기 위해 긴급 정지와 온/오프 (on/off) 스위치도 있습니다. 유지 보수 측면에서, TCP 9400 SE II는 자산이 장비 안전 및 성능을 정기적으로 점검하는 자체 진단 (self-diagnostics) 모델이 내장되어 있기 때문에, 거의 필요하지 않습니다. 이러한 모든 기능은 안정적이고 비용 효율적인 고정밀 에칭 시스템으로 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II의 명성에 기여합니다. TCP 9400 SE II 는 견고한 장치 설계와 통합형 소프트웨어/하드웨어 기능을 결합한 제품으로, 안전하고 정확한 방법으로 다양한 소재를 에칭하는 데 이상적인 플랫폼입니다.