판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9158145
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판매
ID: 9158145
웨이퍼 크기: 6"
Etcher, 6"
Chamber assembly: x2 LL, Proc chamber
Monitor type: LCD
Signal tower: (3) Colors
Pres control: Automatic
Chuck type: Mechanical
RF Generator: RFG 1250
Turbo: EDWARDS A2203C
Gasbox channel: (8) Channels
Series 65 pendulum valve
(2) Gas rings with ceramic insert
Quick clean chamber liners
Dynamic offset ESC power supply and minimatch upgrade
Quick clean endpoint windows
EPROM upgrade for the VAT valve (no preset requirements)
EPROM upgrade for the TCP digital match controller (ISI controller)
Quartz edge ring (greater MTBC)
Currently de-installed.
LAM RESEARCH TCP 9400 SE II는 고급 및 기존 사용자 모두를 위해 설계된 강력한 에처/애셔입니다. 탁월한 정확도와 속도를 제공하는 이 장비는 다양한 고급 (advanced) 기능과 기능을 갖추고 있습니다. 고성능 RF 생성기는 빠르고 반복 가능한 에칭을 제공합니다. 사용이 간편한 터치스크린 컨트롤 패널을 통해 사용자는 최소한의 노력으로 에칭 (etching) 매개변수를 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 시스템에 내장된 고급 (Advanced) 알고리즘을 사용하면 여러 기판에서 전례없는 수준의 반복성 (repeatability) 을 얻을 수 있으며, 모든 재료에서 일관된 에치 프로파일 (etch profile) 을 보장할 수 있습니다. 개별 실행 상세 데이터 로깅 (Detailed Data Logging) 외에도, 이 장치는 최근 10회까지 로그업할 수 있으며, 프로세스 일관성을 보장하고, 에칭 프로세스에 대한 귀중한 통찰력을 제공합니다. 이 기계는 또한 매우 위험한 에칭 가스 (etching gase) 를 포함하도록 설계된 특별히 설계된 안전 챔버 (safety chamber) 를 자랑하며, 사용자와 환경 모두를 노출으로부터 보호합니다. 매우 인상적인 것은 강력한 정밀 도량형 제품군으로, 사용자가 에칭 (etching) 결과를 분석하고 모니터링하여 정확성과 반복성을 보장할 수 있습니다. TCP 9400 SE II 는 가장 까다로운 에칭 (etching) 어플리케이션조차 정확하고 빠르게 처리할 수 있도록 설계된 강력한 etcher/asher 솔루션입니다. 직관적인 소프트웨어 플랫폼, 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features), 신뢰할 수 있는 도량형 기능을 통해 기존 사용자와 고객 모두에게 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다. 개별 기판을 에칭하든, 구조가 매우 복잡하든 간에, 이 고성능 도구는 매번 일관되고 신뢰할 수 있는 에치를 제공하도록 설계되었습니다.
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