판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE #293618056

LAM LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE는 정밀 기판의 대용량 생산을 위해 특별히 설계된 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템에는 트윈 캐스케이딩, 3 레벨 (TC3) 증착 장치가 있어 빠르고 정확한 기판 준비가 가능합니다. TC3 기계는 질화물, 이산화규소, 질화 티타늄, 질화 알루미늄과 같은 다양한 물질의 균일 한 증착을 제공합니다. 이 도구에는 19 "폭 x 27" 깊이의 메인 챔버가 장착되어 있으며, 모든 증착 작업이 실내에서 수행됩니다. "레이어 '의" 에치' 율 과 균일 함 을 제어 하는 "킬러 '캐비닛 은" 에셋' 에 포함 되어 있으며 최대 12 개 의 "카세트 '위치 를 유지 할 수 있다. "카세트 '위치 는" 드럼 셀렉터' 를 통하여 선택 할 수 있다. "드럼 셀렉터 '는 특정 한" 에칭' 속도 를 제공 하도록 조정 할 수 있다. 위치는 코팅의 균일성을 극대화하기 위해 팔각형 패턴으로 배열됩니다. 이 모델에는 플루오린화 수소산 (Hydruoric Acid) 과 오존 (Ozone) 을 사용하여 컴퓨터가 제어하는 통합 실행 종료 (End-of-Run) 청소 장비가 장착되어 기질이 깨끗하고 손상되지 않도록 보장합니다. 이 시스템은 다재다능하며 산화 실리콘, 질화 실리콘, 알루미늄 및 질화 티타늄, 옥시 니트 라이드 실리콘, 텅스텐 및 탄탈륨 질화물 및 기타 내화 물질을 포함한 다양한 물질을 침전시키는 데 사용될 수 있습니다. LAM TCP 9400 DSIE는 두께, 에치 속도, 균일성을 정확하게 제어하는 자동 급지대를 사용하여 구성할 수 있습니다. 이 단위에는 입자 모니터 (Particle Monitor) 도 포함되어 있으며, 재료의 증착 속도를 모니터링하고, 편향 어셈블리 (Deflection Assembly) 는 기판의 기계적 정확도를 유지하는 데 도움이됩니다. 사용자에게 친숙한 메뉴 방식 소프트웨어도 포함되어 있으며, 시스템 설치, 운영 및 유지 보수가 용이합니다. 이 도구는 대량 제조에서 매우 효율적이고 경제적이며, 광전자 공학, 마이크로 일렉트로닉스, 바이오 메디컬, 자동차 등 다양한 기술에 사용될 수있는 기판을 생산할 수 있습니다. 다양한 기능을 갖춘 LAM LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE는 대용량 생산에서 고품질 에치 (etch) 와 애셔 (asher) 를 요구하는 사람들에게 이상적인 솔루션입니다.