판매용 중고 LAM RESEARCH STRIP45 #9284283

LAM RESEARCH STRIP45는 다양한 반도체 프로세스에 사용하도록 설계된 빠르고 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. 고급 모듈식 (modular) 기술이 적용된 단일 플랫폼 시스템으로, 섬세한 장치 구조를 매우 정확하게 처리 할 수 있습니다. STRIP45에는 재료 에칭, 표면 클리닝, SiO2 사이드 월 에칭, 금속 에칭 프로세스 등 다양한 응용 프로그램이 있습니다. LAM RESEARCH STRIP45에는 생산성과 유연성이 뛰어난 최첨단 하드웨어가 장착되어 있습니다. 4 인치 i-line/DUV, DUV 핫플레이트, 200mm a-line/DUV 및 Uni-programmable 50 챔버를 자랑합니다. 각 챔버는 다양한 가스 흐름, 압력, 온도 및 유속 구성으로 사용자 정의 할 수 있습니다. 또한 저온, 저진공, 고체 에칭 기능을 사용할 수 있습니다. 또한 STRIP45 에는 맞춤식 프로세스 레시피, 데이터 로깅, 알람 모니터링 구성 요소를 제공하는 소프트웨어가 함께 제공됩니다. 이를 통해 사용자는 특정 에칭 또는 어싱 프로세스에 대한 단계별 시퀀스를 개발할 수 있습니다. 각 단계에는 정확한 처리를 위해 가스 흐름, 압력, 온도 및 유속 사양이 포함될 수 있습니다. 레시피 기반 프로세스 개발은 또한 평가판, 최적화, 운영 실행이 용이합니다. LAM RESEARCH STRIP45는 소닉 파워 8500 와트와 강력한 저온, 저진공, 플라즈마 소스로 뛰어난 청소 성능을 제공합니다. 약실에서 0.39 Torr의 안정적인 압력과 10 ~ 140 ° C의 온도를 유지하면서 가벼운 유기 화합물을 제거 할 수 있습니다. 스트립 45 (STRIP45) 는 또한 유해 가스에 대한 우발적 노출로부터 인원과 재료를 보호하는 탁월한 안전 기능을 갖추고 있으며, 청소실 환경에서 최소한의 소음으로 작동하도록 설계되었습니다. 사용이 간편하고 유지 보수가 적은 에처/애셔 (etcher/asher) 는 많은 반도체 어플리케이션에 적합하며, 빠른 주기 시간과 향상된 도구 효율성을 통해 비용 절감 효과를 제공합니다.