판매용 중고 LAM RESEARCH Strip45 #293615294

LAM RESEARCH Strip45는 고급 습식 에치 및 산 스트립 공정을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 업계 최고의 균일성을 위해 Constant Density 프로세스 제어 및 고급 기판 보유자가 장착되어 있습니다. 스트라이프 45 (Strip45) 는 모든 프로세스 기술에 가장 높은 처리량을 제공하여 최대 출력을 요구하는 운영 확장 (Production Scale) 프로세스에 적합합니다. CDPC (Constant Density Process Control) 장비는 정확한 에치 속도와 부품 재생성을 가능하게합니다. 이렇게 하면 시스템에서 균일하고 예측 가능한 에치 (etch) 프로파일을 생성하여 수율 및 처리량을 최대화할 수 있습니다. 온보드 기판 로더는 최대 기판 용량이 활용되도록 하여 비용을 절감합니다. LAM RESEARCH Strip45는 효율성을 위해 설계되었으며, 전체 챔버 전체에서 에치 레이트의 균일성을 보장하는 얕은 기판 몰입 챔버를 갖추고 있습니다. 고급 기판 홀더는 CDPC 장치와 함께 작동하여 단단한 기판 제어, 균일성 및 수율 극대화를 제공합니다. 또한 Strip45 는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 제공합니다. 연산자는 로컬 연산자 인터페이스를 통해 시간, 온도 등의 프로세스 매개변수를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. LAM RESEARCH Strip45 (LAM RESEARCH Strip45) 는 견고성 강화 (Rugged) 생산 환경을 위해 설계되었으며, 프로세스의 압력 변화와 산성 유출을 방지하는 H2 보호 패키지 (옵션) 를 제공합니다. 이 기능은 혹독한 상황에서도 안정적인 작동을 보장합니다. 이 기계는 또한 오랜 다운타임 후에도 운영 안전을 보장하는 정교한 자기 청소 (self-cleaning) 메커니즘을 갖추고 있습니다. 전반적으로, Strip45는 생산 규모 고급 습식 에치 및 산 스트립 공정에 이상적인 효율적이고 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. LAM RESEARCH Strip45는 CDPC 도구, 고급 기판 홀더, 강력한 프로세스 제어를 통해 최고의 처리량, 일관된 수율, 균일한 에치 프로파일을 보장합니다.