판매용 중고 LAM RESEARCH SEZ 323 #293658166

LAM RESEARCH SEZ 323은 중요한 포토 마스크 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 대한 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 매우 정밀한 에치/애쉬 (etch/ash) 공정 장비입니다. 이 시스템에는 4 차선, 휠 추적 로봇, 공압 노즐 및 다축 에치/애쉬 헤드와 같은 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치는 최소 필름 두께가 0.5 미크론 인 섬세한 포토 마스크 에칭/애싱에 이상적입니다. 이 기계는 또한 화학 사고 (chemical accident) 나 기계적 사고 (mechanical accident) 로부터 에치/애쉬 (etch/ash) 공정이 보호되도록 여러 가지 안전 기능을 갖추고 있습니다. 내장 안전 장치에는 가스 탐지 도구, 진공 공정 안전 밸브 및 뚜껑이 있습니다. 또한, 에셋의 제어 모델에는 내장 잠금/태그 아웃 장비와 비상 정지 버튼이 포함됩니다. 이 시스템은 시간당 최대 30 개의 포토 마스크 (photomask) 의 높은 처리율을 자랑합니다. 다중 축 에치/애쉬 헤드는 한 번에 4 개의 포토 마스크 (photomask) 를 처리 할 수 있으며 효율적이고 비용 효율적인 생산 솔루션을 제공합니다. 고급 로봇에는 4 차선 휠 추적 장치가 있으며, 이를 통해 균등하게 분산 된 에치/애쉬 공정이 가능합니다. 또한, 기계는 공압 노즐을 사용하여 수동 접촉으로 인한 비용 손상 위험을 줄입니다. 이 툴은 기존 운영 워크플로우에 손쉽게 통합할 수 있도록 설계되었으며, 운영 및 진단을 쉽게 수행할 수 있도록 사용자 친화적 (user-friendly) 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 다양한 맞춤형 구성 옵션 (Customization Option) 을 제공하며, 사용자가 특정 요구 사항에 맞게 설정을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한, 에셋에는 필터, 노즐 및 반사기와 같은 에치/애쉬 프로세스를위한 다양한 액세서리가 포함되어 있습니다. SEZ 323은 탁월한 성능과 탁월한 품질을 제공하는, 안정성이 뛰어난 고급 에치/애쉬 (etch/ash) 모델입니다. 이 장비는 정밀도 및 신뢰성이 필요한 photomask etching/ashing 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 이 시스템은 다양한 안전 기능 (Safety Features) 과 고급 기능을 통해 고밀도 어플리케이션을 위한 효과적인 솔루션을 제공합니다.