판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 9600 #9389854

LAM RESEARCH Rainbow 9600은 강력한 고주파 RF (Radio Frequency) 플라즈마 소스를 사용하는 에처/애셔입니다. Rainbow 9600은 최대 200 와트의 플라즈마 소스 전력과 최대 400mm x 300mm의 기판을 처리 할 수있는 50 입방 피트 작업 용량을 갖습니다. 고유한 설계를 통해 프로세스 반복성 (process repeativility) 이나 기판 처리량 (substrate throughput) 을 손상시키지 않고 단일 레시피에서 동일한 기판에서 에칭 (etching) 및 클리닝 (cleaning) 과 같은 다양한 프로세스 형상을 실행할 수 있습니다. 이 고급 에처/애셔 (advanced etcher/asher) 는 반복 가능한 공정 및 우수한 기판 수율에 대한 기질 준비 및 플라즈마 형성을 자동화하는 통합 배치 공정 기능을 가지고 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 9600 (LAM RESEARCH Rainbow 9600) 에는 다양한 온도 및 대기 조건에서 기판을 저장할 수있는 로드 락 (load-lock) 장비가 있습니다. 또한, 시스템의 절대 압력 제어 (absolute pressure control) 기능은 프로세스 변동을 최소화하여 최종 제품 수율 및 품질 문제의 위험을 크게 줄입니다. 또한 전용 RF (Radio Frequency) 생성기를 사용하여 안정적이고 일관된 에칭 및 클리닝 성능을 보장합니다. "플라즈마 '내 에 집중 된" 이온' 은 기질 의 표면 에 고착 되는 반면 "플라즈마 '는 균일 하고" 가스' 유속 과 같은 "프로그램 '할 수 있는" 파라미터' 로 잘 조절 된다. Rainbow 9600 etcher/asher는 안전과 환경 보호를 염두에두고 구성됩니다. 동공 실 (operating chamber) 에서 유독 가스를 효율적으로 운반하고 유해 배출량을 줄일 수있는 단일 플랜지 배기 머신 (single-flange exhaust machine) 이 있습니다. 또한, 이 툴은 NFPA 인증 및 환경 규정과 호환되는 7 가지 표준 가스 중 하나를 선택할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Rainbow 9600 etcher/asher는 고주파 RF (Radio Frequency) 플라즈마 소스 및 종합적인 프로세스 매개 변수 조정으로 인해 뛰어난 기판 성능 및 처리량을 제공합니다. 안전성 (Safety) 과 환경 보호 (Environmental Protection) 기능을 통해 고품질 기판 생산에 이상적이고 신뢰할 수 있습니다.