판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 9600 #9173006
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ID: 9173006
Lot of spare parts:
Qty Part number Description
(2) - MFC H2O Vapor 1 slm with Controller
(2) 853-491530-002 ESC Power supply assembly (810-017086-008 & 810-370182-001)
(2) 853-015763-001A Assy limit switch
(1) - MFC Ar 100 sccm
(1) - MFC O2 200 sccm
(15) 810-017031-004C ADIO Board rev C
(1) 810-017050-002C ADIO8 Board
(1) 853-032190-306E TCP Assy upper match, fixed gap
(1) 853-015130-204C Assy RF Match EXT range
(1) 515-025756-001 Paddle calibration tool
(1) 515-012168-00X Arm calibration disc
(1) 515-012169-001 Wafer centering tool
(1) 795-008885-001 Optical sight
(2) 515-009821-001 Lock pins
(1) 715-010213-003 Edge sensor calibration tool
(3) 515-097217-001 Nonmetalic driver
(3) 515-099329-001 Retaining ring pliers.
LAM RESEARCH Rainbow 9600은 고급 에칭 및 처리를 위해 향상된 생산성 및 프로세스 제어를 제공하는 etcher/asher입니다. 이 장비는 소형 폼 팩터로 고급 에칭 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 프로세스 다용도 향상, 처리량 향상, 전반적인 프로세스 제어 향상 등을 제공하도록 설계되었습니다. Rainbow 9600 etcher/asher는 뛰어난 프로세스 유연성과 생산성을 위해 컴팩트한 단일 웨이퍼 디자인을 갖추고 있습니다. 업계 최고의 직접 구동 터릿 척 (turret chuck) 및 스핀들 (spindle) 을 활용하여 빠른 웨이퍼 정렬과 향상된 처리량을 제공합니다. 시스템은 최적의 로드 잠금 및 에칭 챔버 구성을 위해 2 챔버 구성을 갖습니다. 이 장치는 또한 프로세스 제어를 향상시키기 위해 특허 처리 기술을 갖추고 있습니다. 여기에는 최대 6 개의 에치 매개 변수를 에치 할 수있는 무전기 도금 프로세스가 포함됩니다. LAM RESEARCH Rainbow 9600에는 동적 웨이퍼 도량형 기능도 있어 에칭 중 웨이퍼 분석이 개선되었습니다. 또한 고속 로딩을 통해 처리 속도가 빨라지고 처리량이 향상됩니다. Rainbow 9600 etcher/asher는 에칭 및 프로세스 제어를 위한 고급 소프트웨어도 제공합니다. 포괄적인 사용자 인터페이스와 강력한 데이터 분석 툴이 포함되어 있습니다. 또한 다양한 대화형 제어 (Interactive Control) 기능을 통해 사용자가 에칭 및 처리 매개변수를 사용자 정의하여 프로세스 신뢰성을 높일 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 9600 etcher/asher는 또한 향상된 보안 및 데이터 보호를 제공합니다. 고급 암호화 (encryption) 및 인증 프로토콜을 제공하는 통합 보안 툴을 갖추고 있습니다. 또한 로컬 인쇄 관리 자산 (Local Print Management Asset) 과 안전한 외장 메모리 커넥터 (External Memory Connector) 를 통해 쉽게 설치 및 데이터를 관리할 수 있습니다. Rainbow 9600 etcher/asher 에는 광범위한 고급 지원 옵션 (전체 기술 지원 포함) 이 제공됩니다. 이 모델에는 안심할 수 있는 포괄적인 보증 서비스 및 유지 보수 (maintenance) 패키지도 함께 제공됩니다. 결론적으로 LAM RESEARCH Rainbow 9600 etcher/asher는 프로세스 제어 및 처리량을 향상시키기 위해 설계된 고급 에칭 및 처리 장비입니다. 컴팩트하고 다재다능하며, 신뢰성 향상을 위해 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 보안 기능을 제공합니다. 통합 소프트웨어/지원 패키지는 고급 에칭 (etching) 및 처리 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.
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