판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4XXX series #9176780

LAM RESEARCH Rainbow 4XXX series
ID: 9176780
Chillers.
LAM RESEARCH Rainbow 4XXX 시리즈는 고급 장치 프로세스 기술의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 etcher/asher입니다. 이 시리즈는 LAM의 검증된 특허 기술을 기반으로 하는 고급 RF 프로세싱 (Advanced RF Processing) 기능을 갖추고 있으며, 높은 내구성과 성능으로 인해 생산에 매우 안정적이고 비용 효율적인 플랫폼을 제공합니다. Rainbow 4XXX 시리즈에는 반도체 제작에서 최신 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 장비 기술과 호환되는 다양한 제품이 포함되어 있습니다. 모든 모델은 가변 펄스 전류 생성기, 멀티 챔버 자동화, 다양한 클리닝 및 사전 처리 기능을 갖춘 CPU (Central Processing Unit) 를 갖추고 있습니다. 특히 주목할만한 4563 모델은 아르곤 압력 속도의 < 1.5 mb 변형을 지원하는 동안 처리 중 1.0 밀리바 가스 압력을 유지하도록 설계된 초박형 가스 셀 벽 (ultra-thin gas cell wall) 설계를 특징으로합니다. 또한, 고급 RF 시스템 (Advanced RF System) 으로 인해 사용자는 고급 프로세스 제어를 통해 높은 정밀도를 기대할 수 있으므로 정확한 프로세스 최적화를 보장할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4XXX 시리즈는 기존 디바이스의 생산성을 두 배로 높이도록 깨끗하고, 빠르고, 도핑이 많은 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시리즈는 표준 (standard) 과 고급 프로세스에 대한 사용자정의 레시피 (recipe) 설정을 모두 지원하므로 사용자에게 유연성을 제공합니다. 또한 빠른 램프 업 (Rast Rampup), 짧은 프로세스 주기, 작은 클리닝 주기 및 추적 가능한 프로세스 매개변수를 단일 설정으로 지원하여 향상된 반복성을 보장합니다. 또한, 이 시리즈는 프로세스 매개변수를 모니터링하고 이상을 감지하는 강력한 안전 (Safety) 기능으로 설계되었습니다. 또한 Rainbow 4XXX 시리즈는 확장 가능하며 이중 챔버 운영, APO (Advanced Process Optimization) 및 가스/반응물 혼합 제어를 통해 사용자가 생산 라인을 간소화하고 생산성을 높일 수 있습니다. 또한, LAM 의 고객 지원 및 전담 서비스 엔지니어를 통해 신속한 지원 및 문제 해결을 통해 가동 시간 (가동 시간) 을 극대화하고 완벽한 결과를 얻을 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4XXX 시리즈 (LAM RESEARCH Rainbow 4XXX 시리즈) 는 견고하고 빠른 프로세스, 프로세스 최적화 기능, 고급 안전 기능이 필요한 Fabricator를 위한 강력한 툴로서, 소형 시스템 하나로 구성되어 있습니다. 이 시리즈는 배치 실행 (Batch Run) 을 사용자 정의하고, 액세스 가능하며, 안정적으로 지원하며, 처리 요구 사항을 충족할 수 있도록 유연성이 향상되었습니다.
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