판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4XXX series #9145828

ID: 9145828
Plasma etcher.
LAM RESEARCH Rainbow 4XXX 시리즈는 회사의 "Corporate Series" 에 포함 된 다양한 etcher/asher 도구입니다. 이러한 툴은 일련의 프로세스 제어, 플라즈마 소스, 진공 솔루션 등을 통해 다양한 산업 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션을 위한 비용 효율적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. Rainbow 4000 시리즈의 etcher/ashers는 회사의 독점 에치 기술을 갖추고 있으며, 저온 공정에서 질화물, 옥시 니트 라이드, 산화물, 폴리 실리콘 및 기타 재료의 고속 에칭 기능까지 다양한 에칭 기능을 제공합니다. 이 강력한 에칭 기술은 프로세스 시간 (process time) 이나 샘플 로딩에 관계없이 정확하고, 균일하며, 반복 가능한 에치를 제공하여 효율적이고 생산적인 프로세스를 보장합니다. Rainbow 4XXX 시리즈는 또한 최고의 안정성과 정밀도를 달성하기 위해 우수한 이온 제어 및 에너지 변조 기능을 제공하는 최신 PSS (High-Energy Plasma Source Solution) 와 같은 다양한 고급 Etcher 솔루션을 제공합니다. 이 강력한 에치 도구에는 MESR 표시기 (MESR Indicator) 도 포함되어 있습니다. MESR 표시기는 격차 거리 및 비행 시간 데이터를 실시간으로 피드백하고 제어합니다. 또한 LAM RESEARCH Rainbow 4XXX 시리즈는 고급 진공 제어 시스템을 갖추고 있으며, 사용자는 진공 챔버의 Pressure Control 및 Cleanliness 및 Ventilation을 정확하게 제어하여 공정 가스 조건을 조정할 수 있습니다. 안정적이고 혁신적인 제어 방법과 기술의 조합은 정확하고 정확한 에칭 (etching) 프로세스를 보장합니다. Rainbow 4XXX 시리즈 (etcher/asher) 는 대부분의 산업 에칭 요구에 적합한 안정적이고 비용 효율적인 강력한 솔루션을 사용자에게 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 이 다양한 툴은 정확성, 안정성, 유연성을 제공하여 다양한 에칭 (etching) 애플리케이션 요구를 충족시켜, 모든 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.
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