판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #9402505
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LAM RESEARCH Rainbow 4720은 고급 반도체 산업에서 사용되는 고성능, 높은 처리량 etcher/asher 장비입니다. 애셔 시스템은 여러 가지 별개의 기술을 사용하여 마이크로 일렉트로닉스, 광학, 광학과 같은 전자 장치에 사용되는 고도로 에칭, 패턴, 다중 계층 구조를 생성합니다. 특히, Rainbow 4720은 화학 습식 에칭 공정, 건식 에칭 공정 및 물리적 증착 공정을 사용하여 이러한 결과를 생성 할 수 있습니다. 화학 습식 에칭 공정 LAM RESEARCH Rainbow 4720 etcher/asher는 습식 플라즈마 에칭 (WPE), 핫 인산 에칭 (HPAE), 몰입 산화제 (IO) 및 전해질 산화를 지원합니다. 이러 한 과정 은 유기 및 무기 물질 과 금속 및 합금 을 에치 (etch) 하는 데 사용 되며, 기계 과정 에서 가능 한 것 보다 더 작은 기하학 과 개선 된 표면 특성 을 가진 "패턴 '이나 구멍 을 만들어 낸다. Rainbow 4720 유닛을 사용할 수있는 건식 에칭 프로세스는 Sputter Etch (SE), Capillary Etch (CE) 및 Cryogenic Etch (CE) 입니다. 이것은 고도로 에칭되고 다이아몬드와 같은 탄소 표면 및 구조를 높은 수준의 정확도, 재생성, 미세 튜닝 기능으로 생성하는 데 사용되는 검증된 프로세스입니다. 또한 LAM RESEARCH Rainbow 4720은 화학 증기 증착 (CVD), 물리적 증착 (PVD) 및 이온 빔 증착 (IBD) 과 같은 물리적 증착 프로세스를 활용할 수 있습니다. 이러한 과정에는 유전체, 전도성 및 반 전도성 필름, 에칭 (etched) 및 기타 기본 기판을 보호하고 밀봉하는 방법 (예: 필름) 이 포함됩니다. Rainbow 4720 etcher/asher를 분리하는 측면은 위에서 언급한 많은 에칭 및 증착 기술을 활용하여 매우 엄격한 기하학 내에서 매우 정확한 패턴을 가진 매우 복잡한, 다중 계층 구조를 달성하고 복제하는 기능입니다. 이 작업은 시스템의 다단계 기능과 고급 이미지 처리 도구 (Tools), 특정 작업 요청에 대한 에칭 (Etailor) 및 배치 (Deposition) 매개변수를 조정할 수 있도록 최적화된 처리 능력을 제공하는 도구) 를 통해 수행됩니다. 결론적으로, LAM RESEARCH Rainbow 4720 (LAM RESEARCH Rainbow 4720) 은 타의 추종을 불허하는 기하학으로 매우 복잡하고 다중 계층 구조를 생산하기 위해 다양한 재료를 빠르고 효율적으로 에칭 및 증착 할 수있는 고급 etcher/asher 도구입니다. 이 제품은 정교한 이미지 처리 기능과 멀티 스텝 (multi-step) 처리 기능을 통해 새로운 반도체 업계에 이상적인 제품으로 자리매김하고 있습니다.
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