판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #9384076
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LAM RESEARCH Rainbow 4720은 고급 프로세스 요구를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 초저속 (ultra-low) kV 가속 전압을 특징으로하여 에칭 비율이 높으며 더 균일 한 재료 층을 제공 할 수 있습니다. 이는 높은 처리량, 짧은 펄스 처리 및 수차 교정으로 수행됩니다. 레인보우 4720 etcher/asher는 고급 에칭/애싱 기술을 사용하여 깊고 좁은 참호에서 수직 벽과 넓은 스톱 에치 벽을 달성합니다. 빠른 프로세스 주기 (Quick Process Cycle) 와 높은 에치 속도 (Etch Rate) 를 제공하며 리프트 오프 조각 수를 줄입니다. LAM RESEARCH Rainbow 4720 HEI (고효율 잉크) 로 적재 할 수 있습니다. HEI는 비정질 실리콘 및 수소화 된 실리콘 층을위한 균일 하고 부드러운 전도성 표면, 제조 공정 에칭 (etching fabrication process) 을 위해 설계되었습니다. 레인보우 4720 (Rainbow 4720) 에는 멀티 모드 소스 챔버 (source chamber) 가 있으며 동시에 에치 기능을 제공합니다. 이것 은 "머신 '이 한 번 에 두 가지 과정 을 수행 할 수 있기 때문 에 비용 과 시간 을 절약 하는 데 도움 이 된다. 라즈베리 파이 (Raspberry Pi) 컨트롤러는 챔버 전체에서 빠르고 정확한 처리를 보장하며, 소스 모듈은 컨트롤러에 완전히 통합되어 유연성이 극대화됩니다. LAM RESEARCH Rainbow 4720에는 LAM RESEARCH 표준 차단 장치 (LAM RESEARCH standard blockage) 도 포함되어 있으며, 균일 한 층의 재료를 공급하고 지속적으로 높은 에치 속도를 제공하도록 설계되었습니다. Rainbow 4720에는 에칭/애싱 프로세스를 사용자 정의하는 다양한 옵션이 있습니다. Dual Process 레트로 모드, DC 바이어스 모듈, Green Ribbon Connector 및 Pattern Memory Mode가 장착될 수 있습니다. 이러한 옵션을 통해 etching/ashing 프로세스가 고객의 요구에 맞게 사용자 정의됩니다. LAM RESEARCH Rainbow 4720은 반복적이고, 고성능 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 위해 설계된 뛰어난 장기 서비스 및 성능 기능을 갖추고 있습니다. 이 제품은 포괄적인 유지 보수 패키지 (maintenance package) 를 갖추고 있으며, 고유한 모니터링 및 진단 기능을 갖추고 있어 프로세스 제어 및 효율성을 극대화합니다. 이러한 기능을 통해 Rainbow 4720은 연구 및 생산 응용 분야에서 업계 수준의 성능으로 에칭/애싱에 이상적인 선택이 됩니다.
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