판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #9226325

LAM RESEARCH Rainbow 4720은 중요한 하드 마스크 패턴 프로세스를 정확하게 제어하도록 설계된 차세대 etcher/asher입니다. 이 포괄적인 솔루션을 사용하면 에치 (etch) 프로세스에서 최적화된 프로파일 제어를 통해 기존 에처 (etcher) 보다 훨씬 더 정확한 커브와 기능을 생성할 수 있습니다. 레인보우 4720 (Rainbow 4720) 에는 정밀한 실시간 제어를 위해 완전히 닫힌 루프 (loop) 센서와 분석 알고리즘이 장착되어 있습니다. 시스템은 에치 속도 (etch speed) 와 애셔 시간 (asher time) 의 변화를 자동으로 추적하고 프로세스 전과 도중에 적절하게 조정합니다. 이는 반복 가능한 품질 결과를 보장하는 데 도움이됩니다. 이 장치에는 제품 결과를 실시간으로 확인하기 위한 고급 고해상도 이미징 머신도 포함되어 있습니다 (영문). LAM RESEARCH Rainbow 4720에는 최고 수준의 성능을 제공하기 위해 결합된 다양한 고유 기능이 있습니다. 이 기계는 폭이 좁고, 코너 반지름이 가장 높을 수 있습니다. 또한 에치 공정의 균일성과 정확성을 유지하는 독특한 가스 흐름 도구 (gas flow tool) 가 제공됩니다. 레인보우 4720 (Rainbow 4720) 은 프로세스 사이클 사이의 공기 압력을 유지하고 난기류를 줄이고 뛰어난 반복성을 제공하는 독특한 네거티브 압력 챔버 디자인을 자랑합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4720 (LAM RESEARCH Rainbow 4720) 은 견고하게 구성된 기계로, 장기 안정성과 성능을 극대화하기 위해 고급 구성 요소 만 제공합니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 비롯하여 다양한 사용자 친화적 기능을 통해 중요한 정보와 설정을 손쉽게 액세스할 수 있습니다. Rainbow 4720은 PC 기반 하드 마스크 (하드 마스크) 에서 혼합 포토 마스크 (photomask) 또는 습식 에칭 (etch) 에 이르기까지 여러 프로세스 흐름의 요구를 충족하도록 완벽하게 구성할 수 있습니다. 이 기계는 프로세스 설계에서 최고의 다재다능성을 제공합니다. 예를 들어, 짧은 주기 (short-cycle) 또는 긴 주기 (long-cycle) 처리를 지원하도록 쉽게 구성할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Rainbow 4720은 다양한 중요한 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 프로세스를 지원하는 고급 기능과 높은 수준의 성능을 제공합니다. 최적화된 설계를 통해 Rainbow 4720은 최고 수준의 정밀도, 반복성, 안정성을 제공하므로 사용자가 패터닝 (patterning) 및 하드 마스크 제어 (hard-mask control) 의 최신 기술에 액세스할 수 있습니다.