판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293642252
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LAM RESEARCH Rainbow 4720은 얇은 필름에서 Nanometer 스케일 디바이스까지 기판을 빠르고, 반복 가능하며, 비용 효율적인 처리를 제공하는 에처/애셔입니다. 무지개 4720은 유전체, 산화물, 금속 및 텅스텐과 같은 물질의 정밀 민감성 에칭 및 애싱을 제공합니다. 고급 반도체 프로세스 모듈 인 LAM RESEARCH Rainbow 4720 (LAM RESEARCH Rainbow 4720) 은 최대 16 개의 프로세스 챔버를 제공하며, 완전히 자동화되어 각 스테이지의 독립적 인 제어 및 동시 작동이 가능합니다. 이 모듈식 시스템 (Modular System) 은 처리 범위를 확장하여 특정 요구에 맞게 온도, 가스, 주기 매개변수를 조정할 수 있는 유연성을 제공합니다. Rainbow 4720은 최대 4 개의 표준 우물과 최대 16 개의 얕은 공정 우물을 제공하며, 최대 16 개의 웨이퍼 캐리어를 독립적으로 처리할 수 있으며, 처리량과 활용도가 향상되었습니다. 이 시스템은 또한 고급 청소 기술, 풀 (pull) 및 스크러빙 (scrubbing) 옵션의 결과로 매우 깨끗한 반도체, 나노 기술, 광전자 응용 프로그램뿐만 아니라 매뉴얼도 지원합니다. 또한, LAM RESEARCH Rainbow 4720 챔버는 최대 266 ° C의 작동이 가능하며, 사용자의 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 가스 및 반응성 제어 옵션을 제공합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 광범위한 수성, 유기 및 고밀도 플라즈마, 초청정 반도체 장치 및 나노 스케일 씬 필름에 대한 반응성이 높은 화학 물질을 사용하여 다중 광 주의자와 에치 레시피를 관리 할 수 있습니다. 레인보우 4720 (Rainbow 4720) 은 또한 완전히 독립적 인 난방 구조와 에치 및 애싱 균일성을 높이기 위해 1 ~ 8 개의 배기 스택을 선택할 수있는 고급 챔버 디자인을 갖추고 있습니다. 이 외에도 LAM RESEARCH Rainbow 4720은 폐쇄 루프 (closed loop), 완전히 소진 가능한 설계 및 자동 제어 시스템으로 설계되어 유지 보수 최소화, 높은 반복성 및 장기적인 신뢰성을 제공합니다. 요약하자면, Rainbow 4720은 저용량, 반도체, 나노 기술 및 광전자 어플리케이션에 이상적인 강력하고 다양한 에칭 및 애싱 도구입니다. 더 얇고 깨끗하고 비용 효율적인 방법으로 얇은 필름에서 나노 미터 (Nanometer) 규모의 장치로 기판의 정확하고 반복 가능한 처리를 제공합니다.
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