판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293595660
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LAM RESEARCH Rainbow 4720은 박막 증착, 장치 제작 및 마이크로 에칭 (micro-etching) 과 같은 광범위한 재료 처리 응용 분야에 적합한 고정밀 에처/애셔입니다. 소형 장치 제작 및 박막 증착을 위해 특별히 설계된 레인보우 4720 (Rainbow 4720) 은 정확하고 효율적인 처리를 위한 다양한 기능을 제공합니다. 예를 들어, LAM RESEARCH Rainbow 4720은 압력 제어 에칭 챔버를 특징으로하여 에칭 프로세스를 정확하게 제어합니다. 방사형 텅스텐 트리오드 (radial tungsten triode) 로 구성된 이 에칭 챔버 (etching chamber) 는 에칭 사이클 전체에서 일관된 에치 속도를 갖는 균일 한 에칭 프로세스를 제공합니다. 약실은 균일, 청결 및 일관성에 대한 정확한 표준을 준수하도록 설계되었습니다. 레인보우 4720 (Rainbow 4720) 에는 에칭 플라즈마의 압력과 수준을 정확하게 제어하는 특별히 설계된 마이크로 웨이브 입구가 있습니다. 또한 LAM RESEARCH Rainbow 4720에는 고급 모션 제어 로봇 암이 장착되어 있어 정확한 모션 컨트롤, 높은 정확도, 빠른 사이클 시간이 가능합니다. 로봇 암에는 잘 설계된 로드 락 (load-lock) 기능이 포함되어 있으며, 얇은 필름의 습하고 건조한 에칭에 적합합니다. 재료 처리 관점에서, 이 로봇 암은 소재 청소, 퇴적, 얇음 및 제거에 완벽합니다. 또한 Rainbow 4720 에는 고급 (Advanced) 통합 제어 장비가 포함되어 있어 Etcher 를 사용자 운영, 모니터링, 스케줄링 및 유지 보수할 수 있습니다. 이 시스템에는 현재 에칭 프로세스 (etching process) 와 처리 중인 재료의 상태 (status) 에 대한 정보를 제공하는 전용 터치 스크린 LCD 디스플레이가 있습니다. 이 통합 장치 (Integrated Unit) 는 또한 에칭 프로세스 가시성을 높여 사용자가 시스템을 빠르고 정확하게 진단하고 문제를 해결할 수 있도록 합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Rainbow 4720은 다양한 재료의 정밀 박막 증착, 장치 제작 및 마이크로 에칭을 위해 설계된 프리미엄 에칭/애셔 머신입니다. 효율적이고 정확한 에칭/애싱 머신을 찾는 사람에게는 완벽한 선택입니다. Rainbow 4720은 압력 제어 에칭 챔버, 동작 제어 로봇 암, 통합 제어 도구를 사용하여 정밀 처리, 생산 효율 향상, 에칭 프로세스 전반에 대한 전체 제어 기능을 제공합니다.
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