판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #152463
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LAM RESEARCH Rainbow 4720은 다이 본드 (Die-bond) 및 와이어 본드 백엔드 프로세스 단계와 같은 비교적 개방형 기계 형상이 필요한 프로세스를 위해 설계된 자동 에치 및 애셔입니다. 자동화된 장비 (Automated Equipment) 를 통해 빠르고 효율적인 프로세스 주기를 실현할 수 있으며, 효율적인 운영을 통해 유지 보수가 감소하면서 처리량이 가장 높습니다. 성능 향상, 열 사이클링 감소, 증착 균일성 향상, 열 예산 (thermal budget) 이 필요한 프로세스의 수명 연장. 이 시스템은 또한 다른 에처 (etcher )/애셔 (asher) 에 의해 탁월한 유연성과 확장성을 갖춘 광범위한 어플리케이션을 지원합니다. Rainbow 4720은 고성능 에칭 (etching), 애싱 (ashing) 및 이온 (ion-etch) 기능을 제공하여 프로세스 내 균일성 제어와 유연성을 결합하여 다양한 칩 설계를 관리합니다. 탁월한 기술로 신뢰성 향상, 비용 절감, 처리량 향상을 통한 탁월한 성능을 제공합니다. 통합 멀티 스텝 에칭 프로세스를 사용하여, 이 장치는 뛰어난 균일성, 정확성 및 반복 성을 제공합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4720은 TCO (총소유비용) 를 최소화하면서 최고의 처리량을 제공합니다. 낮은 운영 비용과 높은 가동 시간 (uptime) 은 최고의 처리량과 수익성을 제공하며, 매우 낮은 오염으로 인해 깨끗한 주사위 (dice-to-clean dice) 에 적합합니다. 통합 I/O 제어 머신은 열 사이클링 및 웨이퍼 성능 저하를 줄여 처리량을 높이고 다이 품질 (die quality) 과 수율을 유지합니다. 또한 Rainbow 4720은 실시간 열 프로세스 모니터링, 최적화된 노즐, 스로틀 제어 (throttle control), 적응형 가스 모니터링 등 다양한 소프트웨어 도구를 통해 고급 프로세스 제어를 제공합니다. 또한, 고급 예측/유지 관리 툴은 최고의 수준의 프로세스 반복성 (repeatability) 및 신뢰성을 보장하며 프로세스 문제를 정확하게 파악하고 격리하기 위한 실시간 프로세스 모니터링 (Real Time Process Monitoring) 을 지원합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4720은 포괄적인 소프트웨어 제품군과 고급 하드웨어를 결합하여 프로세스 최적화, 작업 품질 향상, 처리량 극대화를 지원합니다. 뛰어난 성능과 유연성, 가동 시간 증가, 낮은 TCO, 매우 낮은 오염 (ultra-low contamination) 을 자랑하는 이 에치 앤 애셔 (etch & asher) 를 통해 프로세스를 생산적이고 효율적으로 실행할 수 있습니다.
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