판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4700 #9364649

LAM RESEARCH Rainbow 4700은 다양한 기판의 식각 층 증착 및 이방성 에칭 문제를 충족시키기 위해 설계된 고급 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) etcher/asher 장비입니다. Rainbow 4700은 초고성능과 낮은 운영 비용의 조합으로 반도체와 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 업계의 고정밀도 어플리케이션을 위한 완벽한 시스템입니다. LAM RESEARCH Rainbow 4700은 실리콘, III-V 화합물 및 탄소 및 다이아몬드와 같은 III-N 화합물을 포함한 다양한 기질에서 얇은 층의 정확하고, 선택적이며, 균일하지 않은 에칭과 높은 종횡비 구조를 허용합니다. 고급 PECVD 기술을 사용하여 Rainbow 4700 은 에치 속도 (etch rate) 와 방향성을 제어하여 정확한 기능 패턴화를 가능하게 합니다. 또한, 종횡비와 적합성이 높은 LAM RESEARCH Rainbow 4700은 초박막 코팅의 증착에도 적합합니다. Rainbow 4700은 뛰어난 적합성과 균일성을 가진 박막을 증착 할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 낮은 기생 커패시턴스를 제공하여 고성능 상호 연결에 사용할 수 있습니다. 기계는 또한 접촉 오프닝을 빠르고 정확하게 패턴 화 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4700에는 고급 열 관리 기능도 있습니다. 이를 통해 기판을 가열하여 프로세스 균일성과 재생성을 향상시킬 수 있습니다. 또한, Rainbow 4700의 닫힌 루프 (closed-loop) 온도 제어 방법은 매우 단단한 온도 조절을 제공하여 기판에 원치 않는 손상을 방지합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Rainbow 4700은 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 툴로, 낮은 운영 비용으로 높은 에치 속도와 적합성을 제공할 수 있습니다. 고급 온도 조절 기능을 갖춘 Rainbow 4700 은 고도의 정밀 코팅 및 패턴화 (patterning) 어플리케이션에 적합합니다. 최첨단 PECVD 기술은 다양한 기판에서 정확하고, 선택적이며, 균일하지 않은 에칭을위한 완벽한 자산입니다.