판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4600B #9313104

LAM RESEARCH Rainbow 4600B는 폴리 실리콘, 이산화실리콘, 질화실리콘과 같은 다양한 필름 재료의 에칭에 사용되는 고성능 에칭 및 애싱 장비입니다. 최대 250 와트의 강력한 UV (Ultra-Violet) 레이저 소스를 사용하여 가장 어려운 재료에도 매우 높은 제거 속도를 제공합니다. 이 시스템은 최대 350 mm x 350 mm의 대형 온보드 챔버 용량뿐만 아니라, 내장형, 기판 재료의 정확한 포지셔닝을 위한 고정밀 단계 (high-precision stage), etch 및 ashing 프로세스를 제어하기위한 고급, 사용자 친화적 인 소프트웨어 패키지 등 여러 가지 편리한 기능을 갖추고 있습니다. 레인보우 4600B (Rainbow 4600B) 는 폴리실리콘 (polysilicon) 과 같은 복잡한 에칭 필름에 대해서도 뛰어난 필름 제거 속도를 달성하고 높은 정밀도 및 균일 한 제거 특성을 유지할 수 있습니다. 이 강력한 에칭 장치는 단일 및 다중 계층 프로세스 응용 프로그램 모두에 사용할 수 있습니다. 모듈식 아키텍처를 사용하면 처리량을 유지하면서 더 높은 볼륨을 쉽게 수용할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4600B는 생산 환경뿐만 아니라 다양한 연구 개발 (Research and Development) 에 사용하도록 설계되었습니다. 견고하고 신뢰할 수 있는 설계를 통해 다운타임과 유지 보수 시간을 최소화하면서, 장기간 작업을 수행할 수 있습니다. 온보드 챔버 (on-board chamber) 는 쉽게 접근 가능하며 기판 재료의 빠르고 정밀한 적재 및 정렬을위한 수동 급지대 (feeder tray) 를 포함합니다. 또한, 지능형 가스 전달 기계는 균일 한 에치와 재싱 결과를 보장합니다. 간단히 말해서, Rainbow 4600B는 고성능, 정확하고, 기능이 풍부한 에칭 앤 애싱 (eching and ashing) 툴로, 연구와 개발, 생산에 이상적으로 적합하며, 다양한 재료 내에서 균일한 고품질 결과를 제공합니다. 통합 온보드 자산 (on-board asset) 과 소프트웨어 (software) 를 통해 사용자 친화적이며 효율적이며 확장성이 유지되므로 더 높은 볼륨을 직면하더라도 성능 용량은 변하지 않습니다.