판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9244836
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ID: 9244836
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
Etcher, 8"
Non-SMIF type
Automation online component: SECE
Flat orientation type
BCR
Transfer robot: Homonic driver
One process module chamber
Plasma source options: 27/2 MHz Maximum
2500 W Generator
Chuck type option: Bipolar ESC
Wafer pin-up option: Air cylinder
Gas:
(6) Gas lines
MFC Type: Analog
MFC Maker: Unit 8160
Vacuum pump: QDP80
Turbo pump: TS443BW
Signal tower
UPS: 120 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 175A
Power: 208 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 115A
1994 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4528은 고급 반도체 생산을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 정밀한 온도, 진공 및 화학 제어 기능을 갖춘 자동 장비입니다. 이 시스템은 다중 레벨 구성 가능한 프로세스 모듈 (multi-level configurable process module) 을 갖추고 있으며, 여러 프로세스 레시피를 온보드 운영 단위로 설정 및 리콜할 수 있습니다. 방은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 유리 창문으로 기계 상태를 모니터링하고 오염을 방지합니다. Rainbow 4528 은 4 개의 zone 프로세스 모듈을 갖추고 있으므로 별도의 zone 에서 다양한 etching 및 ablation 프로세스를 수행할 수 있습니다. 공정 모듈은 추가 공정 가스에 3 개의 외부 암 (external arm) 을 사용하고 레시피와 가공 챔버 사이의 빠른 전환을 위해 회전 휠 (rotating wheel) 을 사용합니다. 또한 특허 받은 클러치 (clutch) 와 휠 잠금 장치 (wheel locking mechanism) 가 장착되어 있어 큰 챔버 간에도 부드럽고 정확한 회전이 가능합니다. 내장 (in-built) 소프트웨어를 사용하여 프로세스 매개변수를 자동으로 조정할 수 있으며, 다양한 프로세스 레시피를 저장할 수 있습니다. 에셋에는 장비 상태, 프로세스 상태, 챔버 온도 (Chamber Temperature) 를 모니터링할 수 있는 내장 모니터링 모델도 포함되어 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4528의 강력한 구성은 가혹한 생산 상태에서도 안정적인 성능을 보장합니다. 이 시스템은 산업 처리량 및 제품 라인 확장에 이상적입니다. 활성 서브 미크론 챔버를 사용하여 Rainbow 4528은 기능을 0.5 미크론까지 처리 할 수 있습니다. 내장 안전 장치 및 알람은 운영자 안전 및 제품 품질을 보장합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4528은 고급 생산 환경을 위해 설계되었으며, 특정 제품에 맞게 구성된 복잡한 프로세스 레시피를 만들 수 있습니다. 이 기계는 다른 LAM RESEARCH 제품과 광범위하게 호환됩니다. 반도체 생산을 위한 최적의 선택입니다. 직관적인 GUI를 통해 쉽게 설치할 수 있으며, 이 도구는 단순하고 반복 가능한 프로세스를 위해 다양한 자동화 기능을 제공합니다.
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