판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9170251

LAM RESEARCH Rainbow 4528은 완전 자동 습식 에칭 또는 애셔 장비입니다. 이 시스템은 안정성이 높고, 고속, 멀티 스테이지, 다중 에치 프로세스를 사용하여 에칭 기판을 빠르고 정확하게 패턴화합니다. 레인보우 4528은 직경이 최대 28 인치 (71cm) 인 기판을 빠르게 세팅하도록 설계되었습니다. 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 갖추고 있으며 전면 및 후면 습식 프로세스 (front-side wet process) 를 모두 사용하여 에칭할 수 있습니다. 통합 공정 챔버 (integrated process chamber) 는 균일 한 에칭과 일관되게 높은 수율을 제공하도록 설계되었습니다. 조정 가능한 서셉터 (susceptor) 와 액체 전달 장치 (liquid delivery unit) 를 사용하여 전체 기판에 걸쳐 프로세스 매개변수 및 다양한 프로세스 레시피의 균일성을 보장합니다. 조절 가능한 감지기 (susceptor) 는 또한 더 높은 수준의 습기 (etchant) 를 사용하고 온도 조절을 향상시켜 프로세스 시간을 줄이는 데 도움이됩니다. LAM RESEARCH Rainbow 4528에는 색조 뷰포트 (Tinted Viewport) 및 핫 월 (Hot Wall) 설계 등 다양한 유용한 기능이 장착되어 있어 프로세스 가시성을 향상시킵니다. 색조 뷰포트 (Tinted viewport) 를 통해 사용자는 프로세스 결과를 명확하게 검사할 수 있으며, 핫 월 설계는 에찬트 흐름을 가속화하고 전기 분해 효과의 확률을 줄이는 데 도움이됩니다. Rainbow 4528은 또한 분리 가능한 냉각 트레이 (cooling tray) 및 자동 펌프 다운 머신 (pump-down machine) 을 갖추고 있으며 안전하고 효율적인 냉각 프로세스를 제공합니다. 자동 펌프 다운 (automated pump-down) 도구는 공정 챔버에서 남은 모든 에찬을 신속하게 대피시켜 에찬트 오염과 전 치타를 줄입니다. 또한 8 개의 랙 로드 포트 (Rack Load Port) 를 포함한 다양한 모니터 (옵션) 를 통해 최대의 자산 성능과 안정성을 보장할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4528은 매우 안정적인 모델로, 프로세스 제어 및 고품질의 고속 결과를 제공합니다. 이 제품은 다양한 기판에 이상적인 전면 (front-side) 및 후면 (back-side) 습식 (wet) 솔루션을 모두 제공하여 많은 산업 및 과학 분야에 적합한 솔루션입니다. 조절 가능한 감수기 (susceptor) 와 고급 모니터링 (advanced monitor) 으로, 이 에치 장비는 빠르고 정확한 에칭이 필요한 사람들에게 적합합니다.