판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9011008

LAM RESEARCH Rainbow 4528은 반도체 부품의 대량 생산을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 저압 CVD (Chemical Vapor Deposition) 및 고성능 PECVD (Plasma Enhanced CVD) 프로세스를 통해 최대 300mm 웨이퍼를 처리 할 수있는 플랫폼을 갖춘 완전 자동화 된 단일 웨이퍼 에치/애셔 장비입니다. 레인보우 4528 (Rainbow 4528) 은 모듈식 (modular) 아키텍처를 통해 시스템을 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있으며, 챔버의 웨이퍼를 아래쪽으로 정확하게 배치하는 데 사용할 수 있는 정전기 척 (electrostatic chuck) 을 포함합니다. 에치/애셔 (etch/asher) 는 2 개의 독립적 인 플라즈마 소스와 동적 압력 제어 장치를 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 원자로 챔버 압력 및 에치 속도를 정확하게 조정 할 수 있습니다. 또한 에치 후 (post-etch), 사전 조립 처리 (pre-assemble processing), 향상된 성능을 위한 진공 열 교환기, 프로세스당 최대 5 개의 웨이퍼를 운송하고 주기 시간을 줄이고 처리량을 증가시키는 독점 일괄 처리 제어, 고정밀 컨베이어 도구를 갖추고 있습니다. 또한 LAM RESEARCH Rainbow 4528은 가스 흐름, 압력, 온도 및 전기 방전과 같은 중요한 프로세스 매개 변수를 실시간으로 모니터링합니다. 정교한 웨이퍼 매핑 기능은 레시피의 효과에 대한 자세한 피드백 (feedback) 을 제공하는 반면, 렌즈 (lens) 웨이퍼 검사를 통해 사용자에게 제공됩니다. Rainbow 4528은 광범위한 반도체 제품에 대한 효율적인 etcher/asher 솔루션입니다.