판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520XLE #9097262

LAM RESEARCH Rainbow 4520XLE etcher/asher는 까다로운 환경 상황에서 우수하고 일관된 결과를 제공하기 위해 설계된 정밀 플라즈마 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 고급 시스템은 신뢰할 수 있는 진공 플랫폼 (vacuum platform) 과 인체 공학적 설계 (ergonomic design) 를 통해 사용자가 정확하고 효율적인 웨이퍼 처리를 달성할 수 있습니다. 4520XLE은 듀얼 모드 RF 생성기, 확장 주파수 범위 (450kHz ~ 2GHz) 및 2 개의 챔버 로드 잠금 메커니즘과 같은 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이 장치는 또한 높은 수준의 유연성을 제공하여 딥 에치 (deep etch), 프로파일 제어 (profile control) 등 다양한 어플리케이션에 적응할 수 있습니다. 이중 챔버 (Dual Chamber) 로드 잠금 메커니즘은 처리 챔버에 웨이퍼를 빠르고 정확하게 배치합니다. 기계에는 프로세스 영역에 균일 한 에칭 프로파일을 제공하는 고급 플라즈마 소스 (advanced plasma source) 가 장착되어 있습니다. 4520XLE에는 사용자에게 친숙한 여러 기능과 강력한 프로세스 제어 기능이 장착되어 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 모든 처리 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있으며, 큰 컬러 터치스크린 디스플레이를 통해 복잡한 프로세스를 쉽게 탐색하고 제어할 수 있습니다. 또한 고급 원격 진단 (Remote Diagnostic) 및 소프트웨어 사용자 정의 (Software Customization) 기능을 통해 사용자는 언제든지 처리 매개변수를 쉽게 모니터링하고 구성할 수 있습니다. 4520XLE은 고온, 고습도, 고압 등 까다로운 환경 조건에서 탁월한 안정성과 강력한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 정밀하고 일관된 결과 (operating conditions) 를 보장하기 위해 진동을 줄이기 위한 분리 자산 (isolation asset) 이 기계적 설계에 포함되어 있습니다. 또한, 이 모델은 다양한 안전 프로토콜에 따라 작동하도록 설계되었으며, 모든 관련 산업 표준을 충족합니다. 결론적으로, LAM RESEARCH RAINBOW 4520 XLE은 다양한 응용 프로그램의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 탁월한 프로세스 제어 (process control) 및 효율성 (efficiency) 과 결합된 혁신적이고 신뢰할 수 있는 기능을 통해 사용자는 환경 조건에 대한 일관되고 정확한 결과를 얻을 수 있는 강력한 도구를 제공합니다.