판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9205536

LAM RESEARCH Rainbow 4520i는 광범위한 웨이퍼 에칭/애싱 응용 프로그램에 이상적인 고급 에치/애쉬 공정 도구입니다. Rainbow 4520i 장비는 프로세스 매개 변수와 성능을 최적화하기 위해 특별히 설계되었습니다. 4520i 의 고급 설계는 복잡성을 줄이고, 비용이 많이 드는 업그레이드를 제거하며, 탁월한 프로세스 제어 및 플라즈마 (plasma) 생성을 제공합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520i 의 첨단 에치/애쉬 (etch/ash) 기술은 반도체 애플리케이션을 위한 다양한 재료를 에칭 및 재시작하기 위한 자동화된 고속 플라즈마 기반 프로세스를 제공합니다. Rainbow 4520i 는 Wafer 프로세스 제어 및 효율성을 극대화하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. UPM (Universal Process Module) 을 사용하면 시스템에서 웨이퍼를 제거할 필요 없이 여러 프로세스 모듈을 신속하게 교환할 수 있습니다. 이를 통해 하나의 장치에서 여러 개의 etch/ash 처리가 가능합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520i에는 강력한 진단 도구와 분석 소프트웨어가 포함되어 있어 프로세스 모니터링 및 최적화가 그 어느 때보 다 쉬워졌습니다. 4520i 에는 대용량 기판 캐리어 (기판 캐리어) 가 있는데, 동시에 다양한 기판을 처리하는 데 이상적입니다. 기판 반송파는 최대 200 200mm 웨이퍼 (300mm 웨이퍼 옵션) 와 4 개의 해당 트레이를 보유 할 수 있으며, 이는 공정 챔버에 상대적인 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 기판 반송파에는 개별 웨이퍼 히터 (wafer heater) 도 포함되어 있으며, 웨이퍼 난방당 독립성을 가능하게하여 프로세스 균일성을 향상시킬 수 있습니다. 레인보우 4520i (Rainbow 4520i) 는 첨단 고출력 머신으로, 마이크로 일렉트로닉스 어플리케이션을위한 재료를 빠르게 에칭하고 재싱할 수 있습니다. 이 도구는 고급 플라즈마 프로세스 (advanced plasma process) 를 사용하여 다양한 응용 프로그램에 대한 재료 에칭 및 재싱에 최적화된 플라즈마 스트림을 생성합니다. 에셋은 캐리어가없는 프로세스를위한 경로로 설계되었으며, 노즐 배열 (nozzle array) 을 사용하여 균일 한 에칭 및 애싱 프로세스를 보장합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520i는 PowerPAC 소프트웨어 제품군에서도 사용할 수 있으며, 이 제품군은 프로세스 생산성 향상, 시간 관리, 프로세스 일관성 향상을 위해 설계되었습니다. PowerPAC 소프트웨어 제품군은 모든 제어, 최적화, 아카이빙 및 기본 모델링 기능을 사용하기 쉬운 하나의 패키지로 컴파일합니다. PowerPAC를 사용하면 운영자가 여러 가지 에치/애쉬 프로세스를 손쉽게 모니터링, 최적화 및 간소화할 수 있습니다. 결론적으로, Rainbow 4520i는 다양한 웨이퍼 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 이상적인 고급 에치/애쉬 (etch/ash) 공정 도구입니다. 이 모델의 고급 설계는 복잡성을 줄이고, 비용이 많이 드는 업그레이드는 물론, 탁월한 프로세스 제어 및 플라즈마 (Plasma) 생성을 지원합니다. 이 장비에는 사용자에게 자동화된, 처리량이 많은, 플라즈마 (plasma) 기반 프로세스를 제공하여 하나의 시스템에서 여러 개의 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 허용하는 다양한 기능이 장착되어 있습니다.