판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9198092

LAM RESEARCH Rainbow 4520i는 기판 처리에서 최대 다용도 및 최첨단 정밀도를 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 결과적으로, 이 시스템은 생산 가공뿐만 아니라 과학, 산업 연구에 이상적입니다. Rainbow 4520i는 듀얼 컵 유닛, 수직 마그네트론 소스, 최첨단 프로세스 모니터링 및 제어를 사용하여 정확한 etch 및 ash 프로세스를 지원합니다. 이 기계에서 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 작업은 독립적으로 조절 가능하고 반복 가능하며 자동화된 챔버로 수행됩니다. 이 첨단 기술로 인슐레이터 (insulator), 도체 재료 (conductor materials), 심지어 높은 종횡비 (aspect ratio) 기능과 같은 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한, 고객 요구 사항에 따라 etcher/asher의 프로세스 창을 사용자 정의할 수 있습니다. 기판은 재료 제거, 모델 기반 프로파일 및 에지 비드 (edge-bead) 제거가 적용된 후 클리닝 후 프로세스 (pre-cleaning chamber) 에 도입됩니다. EPD (end-point detection) 기술은 etch 및 ash 프로세스에 대한 실시간 피드백을 제공하여 기존의 endpoint detection 방법을 개선합니다. 고급 에치 및 애쉬 기능 외에도 LAM RESEARCH Rainbow 4520i는 안정성이 높고 견고하며 작동이 쉽습니다. 온도와 압력은 터치 스크린 인터페이스를 통해 제어되며, 프로세스 동안 압력, 흐름, 온도, 가스 혼합 비율을 모니터링 할 수 있습니다. 자체 설명 메뉴는 프로세스 작업을 단순화하고 보다 직관적으로 만듭니다. 이 도구는 느린 마이크로프로세서 제어 시스템보다 성능이 뛰어난 고속 개인용 컴퓨터 (PC) 를 통합합니다. 다국어 사용자 인터페이스 (Multi-Language User Interface) 는 다양한 언어로 제공되므로, 전 세계의 최종 사용자가 기능을 쉽게 활용할 수 있습니다. 오염 제어 자산은 프로세스 일관성과 수익률을 향상시킵니다. 결론적으로, Rainbow 4520i는 생산 처리뿐만 아니라 과학 및 산업 연구를위한 완벽한 솔루션을 제공하는 고급 etcher/asher 모델입니다. 사용자 친화적 인 인터페이스, 프로세스 제어 및 견고한 구성 (Struction Construction) 은 다양한 기판에서 신뢰할 수 있고, 반복 가능하며, 반복 가능한 결과를 제공합니다.