판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9189899

LAM RESEARCH Rainbow 4520i는 반도체 산업의 고급 처리에 사용되는 고성능, 습식 에칭 장비입니다. 매우 효율적이고, 사용자 친화적이며, 비용 효율적이며 다양한 에칭 시스템입니다. 레인보우 4520i (Rainbow 4520i) 는 기능별 자동 처리 스테이션으로, 광범위한 고음질 반도체 장치에 대한 정확한 온도 제어를 제공합니다. 이 장치는 포괄적인 프로세스 및 레시피 (recipe) 관리 기능을 갖추고 있으며, 사전 정의된/맞춤식 레시피를 빠르고 쉽게 설치 및 회수할 수 있습니다. 여기에는 선택 가능한 매개변수의 다단계 레시피 개발과 현장 레시피 편집/디자인이 포함됩니다. 또한 Rainbowi 시리즈에는 CCD 슬라이스별 모니터링 기능이 있으며 실시간 품질 보증을 제공합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520i 머신에는 견고한 스테인레스 스틸, 이중 공정 가스 밸브 및 통합 RF 발전기가 장착 된 전면 로딩 챔버가 있습니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 에칭 (etching) 및 증착 (depositing) 과정 모두에서 부드럽고 신뢰할 수있는 작동을 위해 설계되었으며, 압력은 현장 압력 게이지를 사용하여 정확하게 제어됩니다. 챔버 뚜껑에는 미리 정의된 공랭식 (air-cooling) 및 난방 시스템 (heating system) 이 장착되어 있어 빠르고 효율적인 온도 상승과 램프 다운 속도가 가능합니다. RF 생성기는 에칭 프로세스에 필요한 고주파 에너지를 제공합니다. 필요에 따라 전원 수준, 주파수 및 튜닝을 선택할 수 있습니다. Rainbow 4520i에는 정밀한 에칭 제어를 위한 자동 온도 제어, 통합 안전 및 경보를 갖춘 완전 연동 프로세스 챔버 (Fully Interlocked Process Chamber), 실시간 문제 해결을위한 통합 진단 도구 (Diagnostics Tool) 가 포함 된 전체 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 에셋에는 현장 시퀀스 편집기 (On-Site Sequence Editor) 및 모니터 (Monitor) 가 포함되어 있어 엔지니어가 매개변수를 실시간으로 조정하고 개발 과정에서 프로세스를 추적할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520i는 고급 반도체 장치 처리를 위해 완전히 통합 된 에칭 모델입니다. 견고하고 직관적인 설계, 포괄적인 프로세스 및 레시피 관리 기능을 갖춘 Rainbow 4520i 는 생산성, 신뢰성, 비용 효율적인 결과를 제공합니다.