판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #293622809

LAM RESEARCH Rainbow 4520i는 직접 쓰기 및 3D 장치 제작과 같은 어플리케이션을 위해 설계된 고성능 etcher/asher입니다. 고해상도 스테퍼 (High-Resolution Stepper), 와퍼 크기 범위 (Wafer size range), 레시피 세트 (Recipe Set) 등 다양한 기능을 제공하여 많은 산업에 이상적인 제품입니다. 레인보우 4520i (Rainbow 4520i) 는 다양한 포지셔닝 포인트와 효율적인 드라이브 장비를 갖춘 고급 스테퍼 (stepper) 설계를 활용합니다. 이렇게 하면 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면에 대해 높은 정확도와 빠른 위치를 지정할 수 있습니다. 스테퍼는 미크론 레벨 해상도 (micron-level resolution) 로 패턴을 생성 할 수 있으며, 표준 (standard) 과 복합 (complex) 형상을 웨이퍼 표면에 정확하게 에치하거나 재로 만들 수 있습니다. 시스템에는 또한 LAS (Laser Alignment Unit) 가 장착되어 있는데, 이 장치는 최고 정확도를 위해 각 처리 단계 전에 웨이퍼를 자동으로 정렬합니다. 이 기계에는 다양한 웨이퍼 크기가 있으며, 최대 직경은 13 인치 (13 인치) 입니다. 다른 두께, 실리콘, 쿼츠, 세라믹과 같은 재료, 그리고 여러 웨이퍼를 한 번에 처리할 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH 레인보우 4520i (Rainbow 4520i) 는 프로세스 매개변수를 응용 프로그램의 요구 사항에 신속하게 적용하기 위해 많은 수의 레시피 세트를 갖추고 있습니다. Rainbow 4520i는 LAM RESEARCH flexFAB 소프트웨어로 구동되며, 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스와 etch/ash 프로세스의 실시간 비디오 모니터링을 제공합니다. 이 소프트웨어는 레시피를 쉽게 설정하고 저장하고, 프로세스의 상태에 대한 데이터 (data) 를 확보하고, 더 높은 정확도를 위해 공구를 보정하고, 다양한 재료에 대한 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 사용자 정의하도록 설계되었습니다. 이 소프트웨어는 또한 패턴의 품질, 오버 에칭 (over etching), 환경 데이터 로깅 (environmental data logging) 을 검사하는 등 여러 가지 자산 진단을 제공합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520i 는 고급 디바이스 구성 요구 사항을 충족하도록 설계된 다목적 고성능 etch/ash 모델입니다. 고해상도 스테퍼와 다양한 프로세스 매개변수를 갖춘 레인보우 4520i (Rainbow 4520i) 는 표준 (standard) 및 복합 (complex) 형상에서 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 다양한 혁신적인 기능과 단순화된 프로세스 제어를 위한 사용자 친화적 그래픽 인터페이스 (GUI) 가 제공됩니다. 이 장비는 반도체에서 광학 장치 제조에 이르기까지 다양한 산업에 이상적입니다.