판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9300070

LAM RESEARCH Rainbow 4520은 고성능 및 효율적인 결과를 제공하도록 설계된 고급형 etcher/asher입니다. 그것 은 가장 어려운 "기판 '까지도 신속 하고 정확 하게 에칭 하고" 애싱' 하도록 설계 된 혁명적 인 "에칭 '및" 애싱' 장치 이다. Rainbow 4520은 200mm 배치 엘보우 구성을 가지고 있으며 96 개의 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 뛰어난 성능으로 다양한 유형의 기판을 세척하고 스트립 (strip) 할 수있는 강력한 21 챔버 시스템을 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520은 또한 최첨단 기술 인 SPA (Sequential Plasma Assisted Etching) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 에칭과 재싱을 할 때 엄격한 정확성을 유지할 수 있습니다. 레인보우 4520 (Rainbow 4520) 의 고압 및 온도 조절 프로세스 챔버를 사용하면 처리량과 제어성이 향상되어 에치와 애셔를 허용합니다. 더욱이, 건조 에 최적화 된 "플라즈마 '발전기 는 또한 그 공정 이 신속 히 실행 되고 제어 능력 이 향상 되는 데 도움 이 된다. 분산 통일성 제어 (Distributed Uniformity Control) 가 장착되어 전체 기판에서 에치 속도를 조정할 수 있습니다. 균일 한 에치 레이트를 유지하기 위해 향상된 CD 균일 보호 기능이 있습니다. 이 기능을 사용하면 중요한 장치 기술에서도 CD Unifority 사양을 충족할 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH Rainbow 4520에는 핫스팟 또는 마스크 결함이있는 경우에도 좋은 에치 레이트 (etch rate) 를 복원하는 자동 구조 기능이 있습니다. Rainbow 4520에는 wafer 비균일성을 최소화하기 위해 통합 된 EBS (Edge Bias System) 가 있습니다. 이 기능을 ChemRanging 기능과 함께 사용하면 웨이퍼 에치 수율 및 처리량을 최대화할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520 (LAM RESEARCH Rainbow 4520) 은 최첨단 장치 기술 프로세스에 이상적인 선택이며 모든 반도체 에칭 시설에 완벽하게 추가됩니다.