판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9300069

LAM RESEARCH RAINBOW 4520은 다양한 기판에 금속층을 안전하고 정확하게 배치하도록 설계된 고정밀 에처/애셔입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 6 가스 구성을 특징으로하며, 이를 통해 처리되는 재료의 구성 및 증착 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 4520 은 용량이 많은 수직 (Verrically Mounted) 공정 챔버를 사용하여 한 번에 여러 개의 배치를 처리할 수 있습니다. Rainbow 4520 의 고급 기능을 사용하면 금속의 두께, 균일성, 모양을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 수업 중 에처/애셔 중 가장 높은 처리량을 기록하며, 최대 1500 nm/min의 증착률을 제공합니다. 4520 은 또한 특허를 획득한 PCE (Process Control Engineering) 를 탑재하여 최적의 결과를 위한 증착율 (Deposition Rate) 과 구성 (Composition) 을 정확하게 모니터링하고 다양한 프로세스를 빠르고 정확하게 전환할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520 (LAM RESEARCH Rainbow 4520) 은 작동이 간편하며, 높은 수준의 자동화 기능을 제공하여 배치 프로세스를 쉽게 설정하고 실행할 수 있습니다. 직관적인 제어 (control) 장비를 통해 사용자는 별도의 디스플레이에서 프로세스를 모니터링할 수 있으므로, 매개변수를 편리하게 설정하고 다양한 레시피를 실행할 수 있습니다. 4520은 내장 데이터 수집 소프트웨어, 자동 레시피 관리, 프로세스 챔버 진공 (process chamber vacuum), 가스 흐름 (gas flow), 질소 압력 모니터링 등 다양한 안전 기능을 포함하여 다양한 기능을 제공합니다. Rainbow 4520의 견고한 구성은 극단적 인 환경에서도 안정적인 운영을 보장합니다. etcher/asher는 무거운 게이지 프레임, 낮은 진동과 높은 안정성을 가진 스테인리스 스틸을 사용합니다. 방은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 오염을 방지하기 위해 밀봉됩니다. 자동 매핑 (auto-mapped) 로더를 사용하면 기판을 편리하게 로드하고 언로드하여 자원을 효율적으로 사용할 수 있습니다. 4520 은 액티브 필터 (active filter) 를 갖춘 고효율 배기 시스템 (exhaust system) 을 갖추고 있어 모든 가스와 입자를 단위에서 빠르고 안전하게 분리할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Rainbow 4520은 고성능, 간편한 작동 및 견고한 구성을 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 6 가스 구성, 높은 증착율, 고급 프로세스 제어는 금속 증착에 이상적이며, 자동 매핑 로더 (auto-mapped loader) 및 효율적인 배기 기계는 작동 중 안전성과 편리성을 보장합니다.