판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9296845

LAM RESEARCH Rainbow 4520 (LAM RESEARCH Rainbow 4520) 은 열전달의 에너지를 사용하여 다양한 재료를 제조하는 고급 etcher/asher 장비입니다. 주로 반도체 웨이퍼, 집적 회로 처리, 마스킹, 평면 화, 표면 수정에 사용됩니다. 이 시스템에는 3 축, 고속 선형 축 장치, 동적 정전식 공정 압력 제어 및 조절 가능한 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 3 축 기계는 최대 300mm/sec 의 반복 가능한 프로세스를 수행 할 수 있으므로 고밀도 패턴을 정확하게 만들 수 있습니다. 동적인 정전기 공정 압력 (Dynamic capacitive process pressure) 은 재료 제거 속도를 제어하기 위해 사용되며, 재료 표면의 균일 한 에칭 속도를 보장합니다. 또한, 공정 챔버 (process chamber) 는 최대 온도 45 ° C를 제공하여 저온에서 재료를 처리하여 작업에 대한 손상을 최소화합니다. Rainbow 4520 의 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 고급 프로세스 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 레시피 개발, 웨이퍼 추적 및 프로세스 모니터링을 포함한 프로세스 제어 패키지를 제공합니다. 또한, 각 웨이퍼가 정확하게 처리되도록 실시간 피드백이 제공됩니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520 도구를 사용하면 실리콘, 갈륨 비소, 탄탈럼 등 다양한 재료의 표면을 변형시킬 수 있습니다. 이 다중 레이어 도구는 에칭, 애싱, CVD 및 정밀도로 저항 스트리핑에 사용할 수 있습니다. 또한 압력과 온도를 정확하게 제어하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 조정할 수 있습니다. Rainbow 4520에는 로드 잠금 (load lock), 온도 조절 모듈 (temperature control module) 및 비활성 가스 공급 자산 (inert gas feed asset) 과 같은 다양한 액세서리가 제공됩니다. 이러한 액세서리를 통해 사용자는 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으므로 결과가 정확한지 확인할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Rainbow 4520은 프로세스를 정확하게 제어하는 강력한 etcher/asher 모델입니다. 고밀도 집적 회로의 제작을 위해 특별히 설계되었으며, 이를 통해 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 또한, 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 다양한 액세서리 (accessory) 를 통해 다양한 어플리케이션에 이상적인 장비가 됩니다.