판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9277852

LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher (LAM RESEARCH 4520 Asher) 는 향상된 프로세스 제어 및 균일성을 위해 우수한 하드웨어 구성 및 고급 기술로 기판 처리를 위한 세계적 수준의 에처/애셔입니다. Rainbow 4520 Asher의 기능에는 RTA (Rapid Thermal Anneal), 빠른 냉각 및 고급 프로그래밍 가능한 열 적출이 포함됩니다. 이를 통해 고온 처리 범위는 25 ° C에서 1400 ° C의 고온 (고급 응용 분야에 이상적) 입니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher에는 에칭 및 어닐링에 대한 총 진행 중인 산소를 모니터링하고 제어하는 고급 Oxygen-Meter/Controller가 장착되어 있습니다. 이는 최적화된 프로세스와 정확한 결과를 보장합니다. 레인보우 4520 애셔 (Rainbow 4520 Asher) 는 현재 시장에서 다른 에처보다 10 배 이상 빠른 에치 속도를 제공 할 수 있습니다. 따라서 생산성 및 처리 시간이 향상됩니다. 고급 (Advanced) 프로세스 제어 및 모니터링 시스템, 고급 진단 기능, 통합 장애 보호, Etch Rate 및 Material Consistency 기능도 완벽하게 보장됩니다. 이 장치에는 모든 기판의 일관된 프로세스를 보장하는 표준 자동 웨이퍼 추적 (Automatic Wafer Tracking) 기능이 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher는 뛰어난 균일성을 제공하며, 이는 광학 기계적 구성과 고정밀 전기 자기 파면 액추에이터의 사용에 의해 달성됩니다. 다중 기판 크기 호환성, 모듈식 프로세스 챔버 설계, 유전체 RF 프로세스와 같은 추가 기능으로, 추가적인 균일성과 유연성을 제공합니다. Rainbow 4520 Asher에는 최대 8 주파수의 저주파 및 고주파 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 이를 통해 여러 프로세스 레시피 또는 멀티 스텝 인 사이트 (in-situ) anneal로 생산성을 향상시켜 성능을 향상시킬 수 있습니다. 이 장치에는 기판에 대한 자동 크기 선택 및 식별 기능을 제공하는 일종 인라인 (in-in-line) InGaAs 카메라가 있어 수동 터치 업 시간이 크게 단축됩니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520 Asher는 가장 정밀한 기판 처리를 제공합니다. 우수한 하드웨어, 고급 프로세스 제어 및 모니터링, 향상된 프로세스 균일성, 정확한 결과를 제공하는 Rainbow 4520 Asher 는 업계 여러 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.