판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9248825
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LAM RESEARCH Rainbow 4520은 에칭 및 애싱 프로세스를위한 고급 플랫폼입니다. 이 장비는 최고의 처리율로 최고의 품질 (Quality) 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 여기에는 이온 밀링, 열 보조 에칭 및 반응성 이온 에칭, 애싱, 증착 및 스퍼터링과 같은 최신 에칭 기술이 포함됩니다. Rainbow 4520 etcher/asher 는 다양한 옵션으로 구성하여 유연성, 정확성, 낮은 소유 비용을 제공합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520 etcher/asher는 고속 자동 제어를 위해 임베디드 컨트롤러 및 디지털 신호 프로세서 (DSP) 를 통합했습니다. 이 시스템은 레시피 제어, 펄스 레벨 제어 등 다양한 플라즈마 프로세스 자동화 기능을 제공합니다. 사용자는 에칭 (etching) 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있으므로 실시간 피드백을 프로세스로 보내 정확성을 보장할 수 있습니다. 레인보우 4520 (Rainbow 4520) 에는 자동 차단 방지, 과도한 온도 방지, 가스 침출 프로세스 등 다양한 고급 안전 기능이 포함되어 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520 etcher/asher는 다양한 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. 이 장치에는 LAM RESEARCH 특허 양극성 HF 기계를 포함한 다양한 에치 및 증착 시스템이 장착되어 있습니다. 이 도구에는 에칭 (etching) 프로세스와 애싱 (ashing) 프로세스 간에 빠르고 효율적으로 전환할 수 있는 통합 로드 잠금도 포함되어 있습니다. 이 자산은 또한 다양한 금속, 합금, 알루미늄, 실리콘, 탄소 및 일부 반도체 재료를 포함한 다양한 기판을 지원합니다. Rainbow 4520 etcher/asher는 낮은 총소유비용 (TCO) 을 염두에 두고 설계되었습니다. 이 모델은 탁월한 프로세스 제어, 일관된 프로세스 결과, 낮은 유지 관리 비용 등의 고급 기능을 제공합니다. 또한 LAM RESEARCH Rainbow 4520 etcher/asher는 장비의 수명을 최대화하도록 설계되었습니다. 다양한 고급 유지 보수/진단 (Maintenance and Diagnostic) 기능과 짧은 프로세스 주기 (Process Cycle) 를 결합하여 유지 보수 비용을 절감합니다. 레인보우 4520 (Rainbow 4520) 은 TCO (총소유비용) 를 낮추면서도 높은 품질의 결과를 제공할 수 있는 다양한 기능을 갖춘 고급 Etcher/Asher입니다. 이 시스템에는 업계 최고의 etch 및 deposition 시스템, 고속 자동 제어를 위한 임베디드 컨트롤러 (Embedded Controller) 및 DSP, 사용자 안전을위한 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한 LAM RESEARCH Rainbow 4520 etcher/asher는 최대 수명 동안 프로세스 주기 시간이 짧은 고급 진단 및 유지 관리 기능을 제공합니다.
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