판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9176778

LAM RESEARCH Rainbow 4520은 고급 전자 제품을 대량으로 생산할 수 있도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 4520은 유전체 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에 최적화된 높은 처리량, 높은 정확도의 플라즈마 처리 솔루션입니다. 사이클당 최대 5 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 Fluoroform, Nitrogen Trifluoride, Sulfurous Acid 및 XeF2를 포함한 광범위한 가스로 작동하도록 설계되었습니다. 4520은 또한 양수 및 음수 웨이퍼 바이어스 전압 조건과 완전히 호환됩니다. Etcher/Asher 시스템은 반도체 제작, LED 생산 및 기타 고급 전자 제품 라인에 사용됩니다. 높은 에치 레이트 (etch rate) 및 완벽한 프로세스 제어 (repeatability) 기능을 통해 대용량 생산에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다. 이 장치에는 고급 소프트웨어 알고리즘에 저장된 매개변수 설정 (parameter settings) 을 사용하여 여러 레벨 및 시퀀스에서 에칭을 수행할 수 있습니다. Rainbow 4520에는 대용량 8 "LCD 터치스크린 디스플레이가 있어 운영자가 쉽게 매개변수를 조정하고, 에치율을 모니터링하며, 상태를 검토할 수 있습니다. 자동화된 플라즈마 흐름을 실행하여 프로세스 정확도와 처리량을 최대화할 수 있습니다. 또한 안전하고 효율적인 작동을 보장하기 위해 혁신적인 가스 격리 (gas containment) 설정이 장착되어 있습니다. 이 기계는 매우 안정적인 설정 지점 제어 (Setpoint Control) 및 실시간 피드백 제어 (Feedback Control) 와 같은 다양한 고급 기능을 갖추고 있어 한 배치에서 다음 배치까지의 프로세스 반복성을 보장합니다. 또한 가스 흐름에 입자와 오염 물질의 존재를 감지하고 자동 조정 (automatic adjustment) 을 제공하여 반복 가능한 프로세스를 보장 할 수있는 고급 챔버 제어 도구 (advanced chamber control tool) 가 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520은 또한 다른 프로세스 장비 (예: 건조기 및 로드 잠금 장치) 와 통합하여 완전히 통합 된 생산 자산을 만들 수 있습니다. 견고하고 정확성이 높은 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 모델로, 최소한의 유지 관리 요구 사항으로 산업 수준의 성능을 제공하도록 설계되었습니다.