판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9175702

LAM RESEARCH Rainbow 4520은 고급 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 위해 설계된 업계 최고의 에처/애셔입니다. 레인보우 4520 (Rainbow 4520) 은 높은 처리량과 생산성을 위한 듀얼 빔 레이저 기술, 최적의 플라즈마 밀도를 위한 독특한 챔버 설계, 광범위한 프로세스 및 환경 제어 옵션을 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520에는 고출력 RF 및 DC 전원이 모두 장착되어 있어, 사용자는 두 소스를 독립적으로 제어하여 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. etcher/asher는 다양한 etch, ashing, deposit 및 cleaning 프로세스를 허용하는 다양한 프로세스 레시피를 제공합니다. 모든 프로세스는 처리량 및 수익률 향상에 최적화되어 있습니다. 레인보우 4520 (Rainbow 4520) 의 독특한 챔버 디자인은 듀얼 빔 레이저 에너지와 균일 한 플라즈마 밀도를 효율적으로 활용합니다. 따라서 누출이 최소화되면서 매우 우수한 기능을 갖춘 프로세스를 통해 수작업 (manual intervention) 의 필요성을 줄일 수 있습니다. 이 챔버에는 반응성 종을위한 여러 소스와 개선 된 프로세스 제어를 위한 PECVD 진공이 있습니다. 또한 LAM RESEARCH Rainbow 4520 은 프로세스 자동화에서 프로세스 모니터링 및 데이터 로깅에 이르기까지 독자적인 소프트웨어 툴을 완벽하게 패키지로 제공합니다. 또한, 이 장비는 정확한 프로세스 제어를 위해 프로파일 로지, 분광법, 타원법 (Ellipsometry) 및 무접촉 광학 (contactless optical) 과 같은 도량형 및 감지 기술을 지원합니다. 포괄적인 시스템은 모든 etching 및 ashing 프로세스에 대해 포괄적인 프로세스 제어를 제공합니다. Rainbow 4520에는 안전하고 사용자 친화적 인 포괄적인 인터페이스를 갖추고 있습니다. 이 장치는 사용자 피드백을 기반으로 추가 보정 (calibration) 또는 정제 (refinement) 기능을 통해 정확한 반복 가능한 프로세스에 대해 검증 및 보정됩니다. 또한 원격 데이터 스토리지 (remote data storage) 및 지원에 대한 원격 액세스를 제공하여 필요에 따라 고객 지원을 이용할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520은 대규모 생산을위한 이상적인 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 전통적인 석판화 및 에칭 도구보다 빠른 주기 시간 및 더 높은 수율을 달성하도록 설계되었습니다. 고성능, 견고한 기능, 사용이 간편한 인터페이스를 갖춘 Rainbow 4520 은 고급 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션을 위한 업계 선두주자입니다.