판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #152457

LAM RESEARCH Rainbow 4520 초고속 처리량 asher 및 etcher는 고급 반도체 장치 개발을 위해 설계된 고성능 장비입니다. Rainbow 4520은 R&D, 재료 과학 및 생명 과학을 위한 응용 프로그램 크리티컬 배치 처리에 이상적입니다. 시스템은 여러 개의 챔버로 구성되며, 에칭 (건식) 및 애싱 (습식) 모드 모두에서 작동 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520은 300도 회전로와 총 9개의 독립적으로 제어되는 가스 입력 (gas input) 을 통해 정밀 프로세스 제어를 통해 다양한 프로세스 흐름을 가능하게 합니다. 내장형 컴퓨터를 사용하면 프로세스의 모든 단계를 손쉽게 프로그래밍, 모니터링, 제어할 수 있습니다. 내장된 다중 챔버 (multiple chamber) 는 다양한 구성에서 낮은 열, 중간, 높은 열 에칭 (thermal etching) 프로세스와 높은 온도의 애싱 (ashing) 을 실행할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이 장치는 모든 작동 모드에서 쉽게 모니터링, 제어할 수 있으며, 챔버 내의 온도를 실시간으로 모니터링하여, 프로세스 처리량 (process throughput) 과 항복 (yield) 을 최대화할 수 있습니다. 또한 Rainbow 4520은 가스 분사 보울 및 내장 플레어를 갖춘 독특한 RF 플라즈마 소스를 갖추고 있으며, 저온에서 균일 한 플라즈마 처리, 처리량, 접착 및 균일 성을 향상시킵니다. 통합 RF 소스는 저전력 플라즈마를 생성하는데, 이는 새로운 포토 esist 개발, 애싱 선택성 향상, 에치 레이트 균일성 향상에 이상적입니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520은 에칭 및 애싱 프로세스의 품질을 보장하기 위해 인터페이스 진단 기능도 제공합니다. 몇 가지 추가 기능으로 Rainbow 4520은 안정적이고 뛰어난 에칭 및 애싱 머신입니다. 이러한 기능에는 완전 자동 레시피 제어 전송 도구 및 mis-processing 방지를 위해 설계된 샘플-무결성 검증 자산이 포함됩니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Rainbow 4520은 고성능 에칭 및 애싱 모델을 원하는 사람에게 탁월한 선택입니다. 정교한 기능과 견고한 디자인으로 R&D, 재료 과학, 생명 과학 분야에 이상적인 선택이됩니다. 다양한 프로세스 흐름, 정밀 프로세스 제어, 통합 RF 소스, 인터페이스 진단 (interfacial diagnostics) 기능을 갖춘 이 장비는 뛰어난 성능과 안정적인 결과를 제공합니다.