판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL #293819123

LAM RESEARCH/ONTRAK Rainbow 4520 XL은 반도체 제작 프로세스에 사용되는 에처/애셔입니다. 고정밀도, 비용 효율적인 공구로, 매우 정확하고 반복 성으로 재료를 에치 (etch) 및 예금 (deposit) 하는 데 사용할 수 있습니다. ONTRAK Rainbow 4520 XL은 기존의 에칭 방법에 비해 고급 프로세스 제어 및 대폭 개선 된 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4520 XL은 기판 크기가 최대 300 x 400mm (12 "x 16") 인 컴퓨터 제어 3 축 에처입니다. 고정밀, 고속, 디지털 제어 (HPDC) 장비를 갖추고 있어 정확하고 반복 가능한 에칭 및 증착 프로세스가 가능합니다. 이 시스템은 마이크로 미터 수준의 제어 및 최소 잔류물로 매우 정확한 에칭 (etching) 을 할 수 있습니다. HPDC는 Windows 기반 GUI (Graphical User Interface) 와 연계되므로 사용자는 매개변수를 설정하고, 레시피를 수정하고, 에칭 작업을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 레인보우 4520 XL은 실리콘, 유리, 금속과 같은 재료의 고정밀 에칭 및 증착에 이상적입니다. 이 장치에는 SF6/Cl2, N2/CH2/H2, O2/N2 및 O2/H2/Cl2를 포함한 다양한 에칭 및 애싱 가스가 있습니다. 이 장치는 또한 전력 수준 및 고조파 (harmonics) 를 조정할 수있는 강력한 플라즈마 소스를 통합하여 프로세스 제어가 향상되었습니다. LAM RESEARCH/ONTRAK Rainbow 4520 XL은 안전과 효율성을 고려하여 설계되었습니다. 작업자 안전을 보장하기 위해 기계는 자동화된 배기 (exhaust) 도구와 무단 작동을 방지하기 위해 연동됩니다. 자산은 또한 움직이는 부품, 수냉식, 위험한 화학 물질이없는 유지 보수 (maintenance) 를 최소화하도록 설계되었습니다. 또한, 이 모델에는 자가 진단 (self-diagnostics) 및 유지 보수 (maintenance) 기능과 최대한의 가동 시간 및 비용 절감을 위한 예측 유지 관리 알고리즘이 포함되어 있습니다. 전반적으로 ONTRAK Rainbow 4520 XL은 고정밀 에칭 및 증착 작업에 적합한 선택 사항입니다. 그것은 엄청난 속도, 정확성, 프로세스 제어 및 안전을 제공합니다. 이 비용 효율적인 장비는 다양한 재료에 사용할 수 있으며, 반도체 장치의 고품질 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 프로세스를 보장합니다.