판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #9262478

LAM RESEARCH Rainbow 4500은 기판, 부품 및 마이크로 일렉트로닉스의 효율적인 제작을 위해 설계된 고급 에처 및 애셔 장비입니다. 이 시스템은 드럼, 토치, 확산 기반 에치 및 애셔 기술을 결합하여 프로세스 제어 및 정확도를 높입니다. 레인보우 4500 (Rainbow 4500) 은 소형 설치 공간을 갖춘 사용이 간편한 플랫폼으로, 특화된 기판을 다루는 데 적합합니다. 또한 다양한 프로세스 레시피, 레시피 작업 (recipe tasking), 내장 프로세스 보호 및 피드백 (feedback) 기능을 활용하여 프로세스 변수를 효율적으로 관리할 수 있습니다. 이 장치는 기울기 가능한 고 처리량 프로세스 챔버 (tilt-able, high-throughput process chamber) 로 설계되어 에치 및 애싱 프로세스에서 효율적인 균일성과 반복성을 가능하게합니다. 압력 밀봉 챔버 (pressure-sealed chamber) 는 에칭/애싱 (eching/ashing) 에 대한 넓은 온도 범위를 가지며 가스 흐름 확산뿐만 아니라 균일 한 온도를 허용합니다. 챔버에는 편리한 기판 위치 및 조작을위한 스 러스터 존 (thruster zone) 과 정밀한 방향 및 균일 한 에치/애쉬 프로세스 (etch/ash process) 를위한 조절 가능한 기판 홀더가 추가로 장착되어 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow (LAM RESEARCH Rainbow) 4500은 광범위한 전원 설정 및 유지 시간을 갖춘 고성능 토치 모듈을 사용하여 사용자가 전체 정확도로 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 달성할 수 있습니다. 성화 는 산소, 질소, "아르곤 ', 이산화탄소 와 같은 광범위 한" 가스' 로 작동 할 수 있는 반면, 전체 "챔버 '에 걸쳐 균일 하고 균형 잡힌 온도 를 공급 해 주며, 그 결과 공정 이 최적화 되고 수율 이 높아진다. Rainbow 4500에는 고급 프로세스 제어 (advanced process control) 와 압력 (pressure), 온도 (temperature), 흐름 속도 (flow rate) 등의 다양한 매개변수가 포함되어 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4500은 온보드 레시피 메모리 (on-board recipe memory) 를 사용하여 프로세스를 쉽게 저장하고 리콜할 수 있으므로 프로세스 결과를 쉽게 반복 및 재생성할 수 있습니다. 요컨대, Rainbow 4500은 선명한 기판, 부품 및 마이크로 일렉트로닉스를 매우 정확성, 균일성 및 반복성으로 제작하도록 설계된 매우 효율적인 etcher/asher 머신입니다. 이 도구의 고급 피쳐 (advanced features), 최첨단 프로세스 제어 (최첨단 프로세스 제어) 및 가변 매개변수 (variable parameter) 는 다양한 응용 프로그램에 적합합니다.