판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293762182

LAM Rainbow 4500은 산화물, 폴리 이마이드 및 기타 박막 재료 처리를 위해 설계된 고성능, 레이저 보조 화학 에처 장비입니다. 이 고급 에칭 시스템은 자외선 (UV) 레이저 제거와 화학 에칭 기술을 결합하여 다른 에칭 시스템보다 빠른 속도로 우수한 결과를 얻습니다. Rainbow 4500은 고정밀 3 축 동작 제어 장치를 갖추고 있으며, 에칭 과정에서 뛰어난 반복성과 정확성을 제공합니다. 3 개의 축 각각에는 온보드 드라이버가있는 전용 서보 모터 (servomotor) 가 있으며, 에칭 프로세스를 정확하게 제어합니다. 이 기계에는 반도체 레이저 (semiconductor laser) 도 포함되어 있는데, 이는 UV 레이저 빔을 기판 표면에 정확하게 배치하고 패턴화하는 데 사용됩니다. 이 UV 레이저의 파장은 355nm이며, 스팟 크기를 30äm까지 생산할 수 있습니다. etch 결과를 최적화하기 위해 LAM Rainbow 4500에는 프로세스 제어를 위한 통합 도구가 있습니다. 사용자는 컴퓨터 공정 제어 자산 (Computerized Process Control Asset) 을 통해 레이저 매개변수 (Laser Parameter) 와 화학 솔루션 (Chemistry Solution) 을 모두 조정하여 에칭 프로세스를 특정 작업에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 모델에는 증착률 (Deposition Rate), 구멍 채우기 (Hole filling) 등에 대한 후퇴를 포함하여 강력한 안전 기능이 있습니다. Rainbow 4500에는 손쉬운 유지 보수를 위해 자동 청소 및 건조 장비가 제공됩니다. 이 시스템은 etcher 가 항상 사용 준비가 되어 있으며 다운타임을 최소화합니다. 내구성이 뛰어난 건축으로 업종과 연구 응용프로그램을 위한 신뢰할 수 있는 장기적인 도구입니다. 요약하면, LAM Rainbow 4500은 레이저 제거 및 화학 에칭 기술을 결합하여 박막 재료를 빠르고 정확하게 처리 할 수있는 최첨단 에처 장치입니다. "컴퓨터 '화 된 공정 제어기 는 정확 한 제어 와 유연성 을 제공 하며, 자동화 된" 클리닝' 및 건조 도구 로 유지 하기 쉽다. 그 뛰어난 정밀성 (precision and repeatability) 은 다양한 업계 및 연구 응용에 이상적인 도구입니다.