판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293757796

LAM RESEARCH 4500은 건식 에칭 공정에 사용되는 리에 (RIE) 장비입니다. 이산화탄소/SF6 용 26cm LAM RESEARCH 병렬 플레이트 대면적 플라즈마 소스를 장착하여 높은 에치 속도와 균일성을 제공합니다. 이 시스템은 200mm 웨이퍼를 수용하며, 다양한 도핑 레벨로 표면을 균등하게 가져올 수 있습니다. Al2O3, SiO2 및 유기 재료와 같은 도전적인 재료를 에칭 할 수 있습니다. 이 장치에는 13 개의 공정 챔버가 있으며, 이를 통해 웨이퍼를 에칭하기위한 더 정교하고 정확한 프로세스가 가능합니다. "에칭 '공정 의 정밀도 는 각기 다른" 웨이퍼' 에 걸쳐 일관성 있는 두께 를 수용 할 수 있는 "컨트롤 웨이퍼 '급지대 로 개선 된다. 이 기계 는 또한 정밀 속도 의 부동 영역 (floating zone) 공정 을 가지고 있어서, 에칭 (etching) 공정 을 에칭 하는 물질 을 정확 하게 조정 할 수 있다. 이 도구의 다른 기능으로는 온도 및 압력 제어 (Pressure Control) 를 통해 반복 가능하고 일관된 에칭 프로세스를 만들 수 있습니다. 4500은 금속 산화물, 화합물, 질화물, 올레핀 등과 같은 다양한 물질을 에치하는 데 사용될 수 있습니다. 정밀 에칭 프로세스와 장기적인 신뢰성을 통해 MEMS 디바이스, 나노 기술 (nanotechnology), 마이크로 제작 회로 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다.