판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #293595658

LAM RESEARCH Rainbow 4500은 다양한 재료의 정확한 에칭 및 재싱이 필요한 생산, 연구 및 기타 응용 분야를 위해 설계된 플라즈마 기반 etcher/asher입니다. 이 장비는 microelectronics, optoelectronics, bioelectronics 등의 에칭과 재싱에 이상적입니다. 일부 에칭 (etching) 애플리케이션에서 20 초 미만의 주기 (cycle) 와 다양한 수직 (vertical) 시장에서 프로세스 요구 사항을 충족하는 광범위한 에칭 (etching) 매개변수를 구현할 수 있는 유연성을 제공하는 높은 처리량을 제공합니다. 레인보우 4500은 차가운 음극, 유도 결합 플라즈마 (ICP) 및 터보 펌핑 기술을 사용하여 SF6, CF4, O2, Ar 및 기타 고귀한 가스를 포함한 화학 전구체로부터 고밀도 플라즈마를 생성합니다. 저열 예산은 GaAs (GaAs) 및 기타 III-V 화합물과 같은 민감한 재료 기판에 대한 더 많은 제어 수준을 제공하는 반면, 고급 균일성 (unifority) 제어는 까다로운 코팅 및 에칭 응용 프로그램에 대한 정확성과 반복성을 보장합니다. 이 시스템에는 자동 가스 전달 (automated gas delivery), 압력 및 온도 조절 (pressure and temperature control), 플라즈마 전원 모니터링 등 최신 프로세스 자동화 기술이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 최대 15 가지 프로세스 레시피 (레시피) 를 프로그래밍할 수 있어 빠르고 효율적인 프로세스 툴 튜닝이 가능합니다. 또한, 고급 모니터링은 기판 온도 및 챔버 압력을 모니터링하여 안전하고 반복 가능한 작동을 보장합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4500은 2 x 3 피트의 작은 설치 공간을 갖추고 있으므로 모든 실험실 또는 제조 환경에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 안전한 연결 및 간편한 설치를 위한 다양한 액세서리와 빠르고 쉬운 설치를 위한 자습서 라이브러리를 갖추고 있습니다. 이 기계는 신뢰성이 높아 대부분의 어플리케이션에서 최대 98.5% 의 가동 시간을 제공하므로, 하이믹스 (High-Mix) 생산 요구에 적합합니다. 전반적으로 Rainbow 4500은 전자 부품의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 위해 강력하면서도 유연한 플랫폼을 제공하는 고도의 etcher/asher입니다. 첨단 프로세스 제어 (Advanced Process Control), 다양한 액세서리 (Accessory), 신뢰할 수 있는 운영 기능을 갖추고 있어 다양한 운영 및 연구 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.