판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #151093

LAM RESEARCH Rainbow 4500 etcher/asher는 정확하고 신뢰할 수있는 플라즈마 에칭 및 습식 처리 기능을 제공하는 고급 이중 사용 반 대기 시스템입니다. 다양한 고급 도금 및 에칭 응용 프로그램에 적합합니다. Rainbow 4500에는 완전히 통합된 x, y, z 스테이지가 제공되며, 사용자가 처음부터 끝까지 에칭 및 도금 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 유연한 설계를 통해 사용자는 동일한 시스템을 사용하여 완전한 프로세스 흐름을 자동화할 수 있습니다. 큰 챔버 (chamber) 크기는 큰 기판을 에칭 또는 도금하는 데 좋은 선택입니다. LAM RESEARCH Rainbow 4500은 고급 플라즈마 에칭 및 애셔 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었습니다. 정확한 에칭 및 균일 한 증착을 위해 고급 RF 전원 공급 장치를 사용합니다. 생성 된 RF 에너지는 에칭 챔버 (etching chamber) 내에 집중되어 모든 에칭 응용 프로그램에서 높은 정도의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 레인보우 (Rainbow) 4500에는 다양한 표준 기능이 장착되어 있어 에칭 및 도금 프로세스를 조정할 수 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 etch 속도, etch 깊이, 증착률, 필름 특성, etch 프로파일, 심지어 레이어 두께와 같은 프로세스 변수를 제어할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4500의 애셔 부분은 화학 증기 증착 및 드라이 에칭 (dry etching) 을 포함한 다양한 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 또한 확산, 컨투어 및 패턴 프로세스를 제어 할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 전통적인 도금 방법으로 달성하기 어려운, 고유하고 복잡한 구조를 만들 수 있습니다. Rainbow 4500은 업계 최고의 성능과 다용성을 자랑합니다. 고급 도금 또는 에칭 프로세스와 함께 사용할 때 우수한 결과를 제공합니다. 통합 기능을 통해 정확하고 반복 가능한 프로세스 제어 (process control) 를 통해 각 에칭 (etched) 또는 도금 된 기판이 최고 품질인지 확인합니다. 따라서 LAM RESEARCH Rainbow 4500은 탁월한 정확성과 반복성이 필요한 에칭 및 도금 응용 프로그램에 적합한 선택입니다.