판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4428 #9272635

LAM RESEARCH Rainbow 4428은 실리콘, 실리콘 산화물, GaAs 및 GaN을 포함한 다양한 물질을 에치 또는 재시 할 수있는 에처/애셔입니다. 이 제품은 대용량 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 이상적이며, 비용을 통제하면서 처리량을 증가시켜 투자 수익을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. Rainbow 4428의 온도 범위는 25 ° C ~ 250 ° C이며 가스 흐름 및 압력 설정이 조정됩니다. 또한 고속 및 효율적인 에치 프로세스를 제공하는 터보 모터가 특징입니다. 초고순도 (ultra-high-purity) 결과를 낼 수 있으며, 에칭 챔버에서 높은 수준의 깨끗함을 보장하기 위해 자동 청소 장비가 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4428은 대용량 로드 잠금 장치를 사용하여 에치/애쉬 속도를 높였습니다. 로드 잠금 (load lock) 은 처리 중인 부품에 대한 열 영향을 줄이는 역할도 합니다. 이 시스템은 가스 입력 (gas input) 을 제어하여 정확한 에칭을 보장하며, 다양한 전구체 소스와 호환됩니다. 레인보우 4428 (Rainbow 4428) 에는 최고 수준의 에치/애쉬 (etch/ashe) 성능을 제공하기 위해 고속 압력 펌프 장치도 포함되어 있어 공정 효율성을 극대화합니다. 기계 에는 "에칭 '공정 이 깨끗 하고 효율적 이 되도록" 쿼츠' 원자로 실 이 장착 되어 있다. 또한 LAM RESEARCH Rainbow 4428에는 직관적인 사용자 친화적 인터페이스가 장착되어 있어 쉽게 작동할 수 있습니다. 또한 에어베어링 구동 리프트 테이블 (air-bearing driven lift table) 과 안정적이고 안전한 작동을 제공하는 고급 안전 기능이 있습니다. 리프트 테이블 (lift table) 은 카세트 (cassette) 이든 트레이 (tray) 이든, 웨이퍼 홀더를 빠르고 쉽게 포지셔닝할 수 있도록 설계되었습니다. 리프트 테이블은 또한 에칭 프로세스 동안 뛰어난 샘플 정렬을 제공하도록 설계되었습니다. 전반적으로 Rainbow 4428은 다양한 기판의 소규모 및 대규모 생산에 이상적인 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 공정 제어 (Process Control) 의 최신 기술로 설계되어 정확성을 극대화하고 불확실성을 최소화하며 안전성 (Safety) 기능을 갖추고 있어 안정적이고 안전한 운영을 보장합니다.