판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9411620
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판매
ID: 9411620
웨이퍼 크기: 6"
Plasma etcher, 6"-8"
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump chamber
Indexer type: Hinge 38A, 6"-8"
Robot type: Harmonic drive
Robot blade: AL, 6"-8"
EMO Button guard rings
CRT Monitor
Chamber type: Standard
Process: Plasma cleaner
Controller: 32-Bit Microprocessor with CRT
AL Anodize
Source type: Plasma system
RF Power: OEM-12A
Photodiode optical Endpoint
AC2 Pressure control
Temp control: Chiller
Chuck Type: Mechanical clamp, 6"
Match: Manual
Gases:
Model / SSCM / Gas
UFC-1200 / 100 SCCM / O2
UFC-1200 / 300 SCCM / O2.
LAM RESEARCH Rainbow 4420 Etcher/Asher는 마이크로 전자 회로 제작을위한 고급 에처 및 리프터 오프 장비입니다. 유전체 침착, 환형 고리 형성 및 산화 경화에 이상적입니다. 레인보우 4420 (Rainbow 4420) 은 직경이 최대 150mm 인 기판의 정확하고 균일 한 처리를 가능하게하며, 리프트 오프 처리를 위해 최대 높이 25mm입니다. 여기에는 다단계 프로세스 제어 (Multi-Level Process Control) 옵션이 포함되어 있어 조정 가능한 온도, 압력 및 시간 주기 매개변수를 통해 프로세스 반복성과 운영 효율성을 향상시킬 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420은 2 챔버 구성을 사용합니다. 에칭 챔버 (eching chamber) 는 대기 플라즈마 기술의 이점을 제공하여 깨끗하고 낮은 입자 작업 환경으로 균일 한 에칭을 제공합니다. 리프터 오프 챔버 (lifter-off chamber) 는 기판의 자동 처리와 더 높은 프로세스 정확도를 위해 고성능 자기 중심의 초점 메커니즘을 제공합니다. 레인보우 4420 (Rainbow 4420) 의 에칭 챔버는 저항, 먼지 및 금속 입자가 없는 깨끗한 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 약실은 온도 조절이 가능하여 프로세스 시간을 쉽게 관리할 수 있습니다. 디지털 제어 시스템 (Digital Control System) 을 통해 가스 자원 및 에칭 결과를 효율적으로 사용할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420의 리프터 오프 챔버 (lifter-off chamber) 에는 독점적 인 고성능 세그먼트 형 자기 구동 초점 요소가 장착되어 있어 매우 정확한 결과를 제공합니다. 챔버는 또한 리프터 오프 챔버 (lifter-off chamber) 로의 기판 이동을위한 우회 스테이션을 제공합니다. 레인보우 4420 (Rainbow 4420) 은 압력 및 온도 설정을 포함하여 다양한 프로그래밍 가능한 매개변수로 정밀한 프로세스 제어를 제공합니다. 원활한 작동과 정확한 제어를 통해, 이 장치는 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 재료 관리 머신 (materials management machine) 을 사용하여 가스와 화학 물질을 정확하게 혼합하여 완벽한 프로세스 제어를 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420 도구는 직관적인 Windows 기반 소프트웨어 인터페이스와 함께 제공되므로 운영자가 리프터 오프 (lifter-off) 프로세스뿐만 아니라 에칭 프로세스를 완벽하게 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 심층적인 모니터링, 성능 조정, 데이터 로깅을 통해 제어와 정확도를 극대화할 수 있습니다. 레인보우 4420 (Rainbow 4420) 은 정교한 에칭 및 리프터 오프 머신으로, 마이크로 전자 회로 제작에 가장 높은 수준의 정밀도와 제어를 제공합니다. 강력한 프로세싱과 정확한 제어 (control) 기능을 통해 사용자는 제조 프로세스의 결과와 생산성을 극대화할 수 있습니다.
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