판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9410074
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LAM RESEARCH Rainbow 4420은 반도체 산업의 다양한 프로세스를 위해 특별히 설계된 최첨단 asher/etcher 장비입니다. 업계 최고의 기술, 강력한 확장성, 원터치 (One-touch) 자동화를 결합한 이 시스템은 탁월한 성능을 제공하며, 정밀 에칭 및 애싱 제어를 제공합니다. Rainbow 4420의 대용량 프로세싱 챔버는 최대 4 개의 기판을 쉽게 수용 할 수 있습니다. 독특한 카세트 디자인은 높은 수확량과 정확한 위치 반복성에 대한 움직임을 제거합니다. 고급 EMC-4106P 디지털 흐름 컨트롤러 (Digital Flow Controller) 는 이 장치의 전원을 공급하며, 정확한 프로세스 제어를 제공하여 부품 간 균일성을 최고 수준의 제품 품질로 보장합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420은 에칭 또는 애싱 작업을 수행할 수 있습니다. 에치 (etch) 레시피는 안전하게 저장되며, 사용자는 에치 (etch) 에서 애싱 (ashing) 레시피로 빠르게 변경한 다음 단일 버튼 프레스로 다시 에칭할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 레시피 생성 및 구현을 위한 직관적이고, 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있습니다. Rainbow 4420에는 연속 로드/언로드 챔버가 있어 프로세스가 중단되지 않습니다. 이 혁신적인 기능으로 인해 다음 (next) 배치 준비가 완료되어 보다 효율적인 생산이 가능합니다. 고급 구성 요소와 혁신적인 엔지니어링을 통해 LAM RESEARCH Rainbow 4420은 정확한 결과와 짧은 주기 시간을 보장합니다. 이 에치/애쉬 환경에서 기후 제어가 필수적이며 Rainbow 4420은 탁월한 온도 및 습도 제어를 제공합니다. 고성능 가스 매니 폴드 (Gas Manifold) 는 실시간 모니터링 및 제어를 제공하는 반면, 대형 로봇 암은 빠르고 통제 된 로딩 및 언로드를 보장합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Rainbow 4420은 강력하고 효율적이며 신뢰할 수있는 에처/애셔 (etcher/asher) 자산으로 컴팩트 머신에 견고한 기능과 안정성을 제공합니다. 대용량 (high-volume) 생산에 이상적인 이 모델은 탁월한 성능과 부분 간 균일성을 제공하여 다양한 프로세스 요구를 충족할 수 있는 탁월한 선택입니다.
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