판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9384291
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판매
ID: 9384291
웨이퍼 크기: 6"
Plasma etcher, 6"-8"
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump chamber
Indexer type: Hinge 38A, 6"-8"
Robot type: Harmonic drive
Robot blade: AL, 6"-8"
EMO Button guard rings
CRT Monitor
Chamber type: Standard
Process: Plasma cleaner
Controller: 32-Bit Microprocessor with CRT
AL Anodize
Source type: Plasma system
RF Power: OEM-12A
Photodiode optical Endpoint
AC2 Pressure control
Temp control: Chiller
Chuck Type: Mechanical clamp, 6"
Match: Manual
Gases:
Model / SSCM / Gas
UFC-1200 / 100 SCCM / O2
UFC-1200 / 300 SCCM / O2.
LAM RESEARCH Rainbow 4420은 복잡한 반도체 장치의 개발 및 제작에 사용되는 아트 에칭/애싱 장비의 상태입니다. 첨단 기술로 Rainbow 4420 은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에서 뛰어난 성능을 제공합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420 (LAM RESEARCH Rainbow 4420) 은 넓은 작업 영역과 하위 챔버의 상단 전극 사이의 조절 가능한 거리 때문에 뛰어난 유연성을 제공합니다. 프로세스 신뢰성 향상을 위해 Rainbow 4420 에는 AEM (Automatic Electrode Adjustment) 시스템이 장착되어 있어 하단 및 상단 전극을 빠르고 정확하게 정렬할 수 있어 정확하고 반복 가능한 프로세스가 가능합니다. 이 장치는 자동화된 CNC (Computer Numerical Control) 기계로 구동되어 여러 가지 에칭 및 애싱 작업을 자동으로 수행 할 수 있습니다. 이 CNC 도구는 정확한 프로세스 제어 및 반복성을 위해 매우 정밀하고 최적의 반복 기능을 제공합니다. 안전성을 강화하기 위해 LAM RESEARCH Rainbow 4420에는 에칭/애싱 (eching/ashing) 프로세스 동안 기판의 무결성을 보호하는 진공실이 장착되어 있습니다. 이로써 교차 오염의 가능성을 줄이고, 완성된 제품의 품질을 유지하는 데 도움이 됩니다. Rainbow 4420은 또한 고속 작동이 가능하지만 여전히 뛰어난 결과를 얻을 수 있습니다. 자산은 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 포함한 다양한 프로세스 레시피를 실행하여 가장 복잡한 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH Rainbow 4420은 탁월한 결과를 제공하기 위해 사용 가능한 최신 기술을 활용하는 고도의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 모델을 나타냅니다. 이 장비는 품질 보증 (Quality Assurance) 및 탁월한 프로세스 제어를 위해 설계되었으며, 이는 모든 반도체 개발 및 제작 실험실에서 탁월한 선택입니다.
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