판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300194

LAM RESEARCH Rainbow 4420은 첨단 전자 기기 제작에 사용되는 고급 에칭 및 애싱 도구입니다. 이 도구는 패턴화된 마스크나 다른 구조를 만들기 위해 얇은 재료 레이어 (예: 절연 레이어) 를 적용합니다. Rainbow 4420 etch and asher는 뛰어난 반복성과 균일성을 갖춘 매우 얇은 레이어에 대한 높은 정확도 에치와 ashing을 제공합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420에는 최첨단 소스 챔버 (source chamber) 가 장착되어 있으며, 여기에는 단단한 배플 및 진공 펌프가 포함되어 있어 매우 깨끗하고 입자가 없습니다. 높은 처리량 및 저비용 (low-cost) 작동을 보장하기 위해, 이 시스템에는 빠른 열 처리를 위한 내장형 저항 히터가 장착되어 있습니다. 무지개 4420 에는 또한 "아르곤 ', 산소 및 질소 와 기타 가능 한" 가스' 가 혼합 된 "가스 '캐비닛 이 들어 있다. 이 가스 캐비닛은 완전히 자동화되어 있으며, 에칭 조건을 완벽하게 제어합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420은 순차 에치와 애셔, 또는 동시 에치와 애셔의 두 가지 모드로 작동합니다. 순차 (sequential) 모드에서는 웨이퍼가 시스템에 로드되고 첫 번째 에치가 수행되고 재 (ash) 가 수행됩니다. 동시 모드에서는 웨이퍼가 동시에 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 에 노출됩니다. 이 모드는 계층 간 격리, 선택성, 도핑, 보호 계층 등의 응용 프로그램에 적합합니다. Rainbow 4420에는 간편한 프로그래밍 및 모니터링을 위한 사용자 친화적 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 포함되어 있습니다. GUI 는 모든 관련 매개변수를 표시하며, 연산자를 필요에 따라 조정하여 결과를 최적화하고 프로세스 재현성을 향상시킬 수 있습니다 (영문). LAM RESEARCH Rainbow 4420 etch and asher는 온도와 압력 제어를 결합하여 정확하고 정확한 에칭 및 재싱을 허용합니다. 레인보우 4420 (Rainbow 4420) 은 다양한 유형의 반도체 및 전자 장치에 이상적인 에치 앤 애싱 툴로, 뛰어난 반복성, 균일성, 낮은 운영 비용 등 다양한 이점을 제공합니다. 순차 모드이든 동시 모드이든, LAM RESEARCH Rainbow 4420 도구는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 에서 탁월한 결과를 얻을 수 있는 탁월한 선택입니다.