판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9296682

LAM RESEARCH Rainbow 4420
ID: 9296682
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Poly etcher, 8" 2000 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420은 제작자와 실험실의 요구를 충족하도록 설계된 비용 효율적이고 고성능 에처/애셔입니다. 즉, 정교한 제어 시스템을 갖추고 있어 다운타임을 최소화하면서 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 레인보우 4420 (Rainbow 4420) 은 마모에 저항하기 위해 설계된 통합 에칭 장비를 갖추고 있으며 뛰어난 에칭 결과를 제공합니다. 표면 손상을 최소화하고 에칭 균일성을 개선하도록 설계된 공정 제어 저압 플라즈마 소스 (process-controlled low pressure plasma source) 가 있습니다. 정확한 에칭 성능을 보장하기 위해 LAM RESEARCH Rainbow 4420에는 DSS 모니터뿐만 아니라 디지털 포지셔닝 시스템이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 재료 유형, 두께, 크기에 관계없이 정확한 에칭 결과가 가능합니다. etching 매개변수는 PC 연결을 통해 조정할 수 있습니다. 또한, 정확한 에칭 런을 허용하는 실시간 온도 측정 기능을 갖추고 있습니다. Rainbow 4420은 매우 자동화되고 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 내장형 로직 제어 장치 (Logic Control Unit) 를 통해 처음부터 끝까지 다양한 Etch 프로세스를 실행할 수 있습니다. 또한 PC 인터페이스를 통해 쉽게 작동 및 모니터링 할 수있는 로봇 로딩 장치 (robotised loading unit) 도 포함되어 있습니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420에는 다양한 어플리케이션의 요구를 충족하는 다양한 에칭 챔버 구성이 포함되어 있습니다. 고출력 제너레이터 (HPC) 가 장착돼 있어 프로세스 제어를 최적화하고, 장기적 균일성을 보장한다. Rainbow 4420에는 운영자와 장비를 모두 보호하도록 설계된 안전 기능도 있습니다. 에치 챔버 (etch chamber) 의 부주의한 작동을 방지하는 안티 인터록 머신 (anti-interlock machine) 과 자산 안전을 보장하는 프로그래밍 가능한 인터록 툴 (interlock tool) 이 있습니다. 또한, 가능한 전기 위험을 감지하고 제한하기 위해 획기적인 온보드 안전 (On-Board Safety) 모델이 장착되어 있습니다. 결론적으로 LAM RESEARCH Rainbow 4420 etcher/asher는 다양한 고급 기술, 사용자 친화적 인 처리 제어, 정교한 온보드 안전 시스템 (Onboard Safety System) 을 결합하여 최고의 효율성과 성능을 제공하는 종합 장비입니다.
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