판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9242186
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판매
ID: 9242186
웨이퍼 크기: 8"
Polysilicon etchers, 8"
Stand alone
SECS Interface
Rainbow mainframe
Integrated SMIF
Orbitally welded gas box
Backside helium cooler
Helium cooling MFC type: UPC-8130
Remote RF cart
LAM 851-180089-111 Remote RF cart
LAM P/N: 851-014680-583-F-GEN Remote RF cart
853-025903-002-A-262C RF Match type
Main on-board AC distribution type: Fused
Remote AC box
Etch chamber
Clamp
ENI OEM-650A RF Generator
EDWARDS IQDP80 Loadlock pump
EDWARDS IQDP80 / QMB250 Etch chamber pump
(2) LAM 2080 TCU Chillers
LAM 852-110198-001-C-6882
Gas box configuration:
Gas line / Gas / Flow (sccm) / MFC / Model
PM1-1 / HE / 500 / Unit / 1660
PM1-2 / AR / 500 / Unit / 1660
PM1-3 / O2 / 50 / Unit / 1660
PM1-4 / C2F6 / 500 / Unit / 1660
PM1-5 / SF6 / 500 / Unit / 1660
PM1-6 / HBr / 200 / Unit / 1660
PM1-7 / CL2 / 500 / Unit / 1660
PM1-8 / NF3 / 0 / Unit / 1660
Power supply: 208 V, 3-Phase.
LAM RESEARCH Rainbow 4420은 고급 반도체 장치 제조를 위해 설계된 에치/애쉬 공정 도구입니다. 이 툴은 Rainbow 제품군 플랫폼을 기반으로 합니다. Rainbow 제품군 플랫폼은 현재 지속적으로 발전하고 있는 디바이스 제조 요구 사항을 충족할 수 있는 확장성이 뛰어납니다 (영문). Rainbow 4420 은 Rainbow 제품군의 최고 수준의 처리량과 TCO (총 소유 비용) 를 제공하여 많은 대용량 웨이퍼 레벨 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420은 etch/ash, strip 및 양면 etch를 포함한 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. 여러 공정 챔버 (process chamber) 와 다양한 기판 및 음극을 지원하므로 유연하고 정밀한 처리가 가능합니다. 통합형 CHA 기술을 사용하면 매우 높은 수율 결과를 얻을 수 있으며, 3D 수정 기능을 통해 불균일성을 줄이고 레시피 성능을 향상시킬 수 있습니다. 레인보우 4420 (Rainbow 4420) 은 프로그래밍 가능한 웨이퍼 배치 제어를 제공하여 전체 레시피에서 정확한 웨이퍼 동작 제어를 제공합니다. 이 도구는 고급 프로세스 제어 및 모니터링 (Advanced Process Control and Monitoring) 기능을 갖추고 있으며, 가장 까다로운 애플리케이션에서도 정확한 종단점 감지 및 조정이 가능합니다. 이 도구의 핵심 모듈은 슈퍼 파브 (Super Fab) 컨트롤러로, 최첨단 프로세스 제어 및 모니터링 시스템뿐만 아니라 최대 8 개의 프로세스 챔버를 동시에 관리할 수 있습니다. Super Fab은 또한 최적의 성능을 보장하기 위해 통합 교정 시스템을 제공합니다. LAM RESEARCH Rainbow 4420은 장치 계층의 빠르고 저렴한 생산을 위해 설계되었습니다. SEMI SECS/GEM 표준을 완벽하게 준수하며 99.9% 의 가동 시간을 제공합니다. 또한 전원 부하, 더미 웨이퍼 (Dummy Wafer), 스퍼터 모듈 (Sputter Module) 등 다양한 추가 액세서리 옵션이 제공됩니다. 또한 YieldFlex 소프트웨어 제품군과 호환되며, 다양한 수율 최적화 옵션을 제공합니다. Rainbow 4420 은 안정적이고 효율적인 툴로서 뛰어난 성능과 안정성을 제공합니다. 뛰어난 유연성과 안정성을 자랑하는 이 툴은 많은 디바이스 제조 (device manufacturing) 애플리케이션에 적합합니다.
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